[实用新型]用于化学气相沉积的等离子炬

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积的等离子炬，包括处于中心轴上的中心阴极(1)、与该中心阴极(1)同轴的一个管状阳极(5)，该中心阴极(1)和管状阳极(5)分别连接直流电源的负极和正极，其特征在于在该中心阴极(1)和管状阳极(5)之间至少设有一个管状辅助电极(2、3、4)，各极间由绝缘材料隔离，至少3个极间设有进气结构，其中至少有一个进气结构中具有能使气体进入炬腔体后形成旋转气流的结构。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的进气结构为：下面为多孔形出口的中空夹层式绝缘套，或由管状辅助电极(2、3、4)和绝缘套构成的中空夹层式套，中间为筒状进气腔，其上设有进气管。

3.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的能使气体进入炬腔体后形成旋转气流的结构为：筒状进气腔的下端设有切线方向的喷口，筒状进气腔的下端口为封闭式或其上设有向下喷口。

4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的管状阳极(5)和管状辅助电极(2、3、4)中均设有流水冷却结构。

5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的中心阴极(1)结构为：棒状或管状阴极固定于筒形阴极座的下方，筒形阴极座中设有流水冷却结构。

6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的管状阳极(5)的下沿低于管状辅助电极(2、3、4)的下沿。

7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于在管状阳极(5)的外面设有磁场线圈(18)或永久磁铁。

8.根据权利要求7所述的用于化学气相沉积的等离子炬，其特征在于所述的进气结构中进入气体的成分为：靠近中心阴极进气结构的进入气体为惰性气体，其余进气结构的进入气体为氢气、惰性气体和反应物气体中的某一种气体或某几种气体的混合气体。