[实用新型]一种制备类金刚石薄膜的装置

权利要求书

1.一种制备类金刚石薄膜的装置，具有由圆筒形外壳、封盖和底座构成的封闭式反应室，封盖上有进气孔，底座上设有真空泵孔和排气孔，外壳两个侧面上设置有观察窗口，其特征在于：在所述反应室内的上下空间位置分别装有由若干空心不锈钢针组成的阴极与平板筛网组成的阳极，在所述平板筛网下部固定有基片，所述不锈钢针与平板筛网之间的间距为10mm，所述平板筛网与基片之间间距为1mm；所述的阴极与阳极分别以导线与高压电源相连。

2.根据权利要求1所述的一种制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述封盖盖体为一空心圆柱体，若干空心不锈钢针通过陶瓷管固定在盖体底面。

3.根据权利要求1所述的一种制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述反应室底座上装有一托板，所述的基片即固定在此托板上。

4.根据权利要求3所述的一种制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：在所述托板下部安装有加热装置及热电偶。

5.根据权利要求1或2所述的一种制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述空心不锈钢针长为3cm，外径为2mm，孔径为200μm，针尖角为15°，每个空心不锈钢针之间的间距为5mm。

6.根据权利要求1所述的一种制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述平板筛网由溅射很小的金属钼片构成，钼片纯度99.98％，厚度为2mm，其上的筛孔孔径为50μm。