[实用新型]一种单晶炉限位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种限位装置，具体涉及一种单晶炉限位装置。

背景技术

单晶炉是单晶体的生长设备，目前较常用的则是提拉法单晶炉。一般在单晶炉的炉室和籽晶旋转部件之间起过渡作用的过渡副室中设有限位机构，实现籽晶提拉的上限位，以保护籽晶提拉装置不受损害。目前多使用红外限位装置，该限位装置虽然使得籽晶提拉装置定位精确，但其成本高，还有采用机械结构的限位机构，虽然该机构可以实现定位精确，且成本低，但缺少密封部件，外界杂质容易侵染机构内部，且若外界空气通过限位机构进入炉室内则会影响单晶炉炉室内的真空度，进而影响单晶体的提拉质量。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种单晶炉限位装置，该装置能够准确限位单晶炉籽晶提拉装置，另外能够有效防止杂质进入该装置内，保证其限位的精确度。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为：

一种单晶炉限位装置，包括限位开关、限位支托、限位转轴、传导片、转轴压板、压轮、摆臂、弹簧；所述限位支托呈柱体结构，且其内部有圆柱形盲孔，其一端有一圈凸出外沿，所述限位支托具有凸出外沿端通过连接件与单晶炉的炉壁固定连接；所述限位转轴一端沿限位支托径向穿入限位支托内，且在限位支托的圆柱形盲孔内与传导片的一端通过连接件连接，另一端依次穿过转轴压板、压轮；所述传导片另一端为圆片，且其圆片面位于单晶炉的主炉室轴心，且与主炉室轴线垂直；所述转轴压板通过连接件与限位支托连接，所述压轮通过连接件与限位转轴固定；所述摆臂与压轮固定连接；为防止摆臂在自然状态下左右摆动，所述弹簧一端连接摆臂端部，另一端连接限位支托的凸出外沿；所述限位开关固定于限位支托外表面，还包括密封圈，所述密封圈套于限位转轴上，并嵌入限位支托壁内一部分，另一端与转轴压板内侧接触。

为了有效防止外界空气等杂质通过限位装置进入炉室，所述密封圈与转轴压板内侧接触面上有一圈凹槽，所述凹槽的外壁为圆柱面，内壁为斜面，所述凹槽内壁靠近转轴压板的端部有一圈向槽内凸出的凸起，所述凹槽的大口端与转轴压板相对。

所述摆臂与压轮焊接固定。

所述的连接件为螺钉。

该限位装置的限位开关与电气系统相连接，电气系统控制单晶炉籽晶提拉部件的驱动装置-----电机的运作，当籽晶提拉部件提拉籽晶上升到极限位置时，提拉部件上的定位块碰到传导片，从而使限位转轴带动压轮(即带动摆臂)旋转至一定位置，摆臂迫使限位开关动作，通过电气系统控制，使电机关闭，进而停止籽晶提拉部件的上升运动。

本实用新型一种单晶炉限位装置，该装置结构简单，成本较低，能够准确限位单晶炉籽晶提拉部件，保护籽晶提拉部件不受损害；能够有效防止空气等杂质从该装置进入炉室，保证其限位的精确度，也保证了籽晶提拉的精度。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型的右视截面图。

图3为本实用新型的仰视截面图。

图4为本实用新型安装在单晶炉内的结构示意图。

图中：1-限位开关，2-限位支托，2-1-凸出外沿，2-2-圆柱形盲孔，3-限位转轴，4-传导片，4-1-圆片，5-转轴压板，6-压轮，7-摆臂，8-弹簧，9-密封圈，9-1-凹槽，9-2-外壁，9-3-内壁，9-4-凸起，10-螺钉，11-炉壁，12-主炉室。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型做进一步说明。

如图1至图4所示，一种单晶炉限位装置，包括限位开关1、限位支托2、限位转轴3、传导片4、转轴压板5、压轮6、摆臂7、弹簧8、密封圈9。

限位支托2具有凸出外沿2-1端通过螺钉10与单晶炉的炉壁11固定连接；限位转轴3一端沿限位支托2径向穿入限位支托2内，在限位支托2的圆柱形盲孔2-2内与传导片4的一端通过两螺钉10连接，另一端依次穿过转轴压板5、压轮6；传导片4的另一端为圆片4-1，该圆片4-1位于单晶炉的主炉室12轴心，且圆片面与主炉室12轴线垂直；转轴压板5通过四个螺钉10与限位支托2连接，压轮6通过螺钉10与限位转轴3固定，摆臂7与压轮6焊接固定。

密封圈9套于限位转轴3上，一部分嵌入限位支托2壁内，另一端与转轴压板5内侧接触。密封圈9与转轴压板5内侧接触面上有一圈凹槽9-1，凹槽9-1的外壁9-2为圆柱面，内壁9-3为斜面，凹槽内壁9-3靠近转轴压板5的端部有一圈向槽内凸出的凸起9-4，凹槽9-1的大口端与转轴压板5相对。