[实用新型]无抽气管磁控管芯无效

专利信息
申请号: 200920234208.4 申请日: 2009-08-13
公开(公告)号: CN201478251U 公开(公告)日: 2010-05-19
发明(设计)人: 吴志格;沈勇;周银惠;解志俊;周哈佳;黄德坚 申请(专利权)人: 南京恒乐机电设备有限公司
主分类号: H01J25/50 分类号: H01J25/50;H01J23/00
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 闫彪;何朝旭
地址: 210003 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 气管 管芯
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种磁控管芯,尤其涉及一种磁控管芯的抽真空结构,属于磁控管技术领域。

背景技术

磁控管是一种由恒定电场和恒定磁场转变为微波功率的真空电子器件,目前使用量最大的是微波炉磁控管。磁控管的核心部件是磁控管芯,常见磁控管芯的结构如图1、图2所示,它由分布于阳极组件两端的输出组件、输入组件和设置于阳极组件内的磁极1构成;其中阳极组件主要由阳极筒2、分布在阳极筒2内部的阳极叶片3和固定在阳极叶片3上的天线4构成,输出组件主要由依次密封联接的输出管壳7、输出陶瓷环6和作为抽气口的抽气管5构成,输入组件主要由依次密封联接的阴极8、输入管壳9、输入陶瓷环10和阴极引线端子11构成,天线4一端伸入到抽气管5中。

磁控管芯内部的真空度是影响磁控管芯质量的重要指标,当达不到规定真空度的磁控管工作时,阴极发射的电子在飞向阳极过程中会与残余气体碰撞,消耗电子能力,同时残余气体电离后产生的正负离子也将影响阴极发射电子的有序群聚,从而降低磁控管的功率和稳定性。为保证磁控管能正常、可靠的工作,目前对磁控管芯内部都要进行抽真空、加热除气、阴极处理和密封焊接的生产工艺(以下简称抽除封工艺)处理,以使磁控管芯内部气体压强达到10-5pa数量级。图1中所示磁控管芯的抽气管5就是为现有磁控管芯进行抽除封工艺而专门设计的抽气通道。现有磁控管芯的抽除封工艺主要有:将通过管道连接真空泵的抽气接嘴与抽气管5密封联接后可对磁控管芯抽真空;在抽真空的同时对磁控管芯烘烤加热以除去磁控管芯各部分材料中内含的气体和表面水蒸气(一般利用阴极和阳极通电从管芯内部进行烘烤或用辐射加热器从管芯外部进行烘烤,管芯内部通常还设有吸气剂);在抽真空和加热除气结束后,如图2所示,在抽气管5靠近天线4一端的根部用冷焊钳剪断抽气管5,并使抽气管5被剪断处与天线4一端压紧在一起形成密封联接,最终使磁控管芯内部密封成真空状态。由于现有磁控管芯在抽真空时,从真空泵到磁控管芯内部要经过多级管道、抽气接嘴和内径细而长的抽气管5,因此从真空泵到磁控管芯会产生较大的压强差,从而使磁控管芯内真空度达不到要求(气体压强达不到10-5pa数量级)。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是:提出一种具有独特抽真空结构的无抽气管磁控管芯,该无抽气管磁控管芯采用现有真空炉进行抽除封工艺生产后能够将磁控管芯内部的真空度提高近一个数量级,从而大幅提高磁控管芯的质量。

本实用新型的技术方案是:一种无抽气管磁控管芯,包括阳极组件、分布于阳极组件两端的输出组件、输入组件和设置于阳极组件内的磁极;所述阳极组件主要由阳极筒、分布在阳极筒内部的阳极叶片和固定在阳极叶片上的天线构成,所述输入组件主要由依次密封联接的阴极、输入管壳、输入陶瓷环和阴极引线端子构成;改进是,所述输出组件主要由依次密封联接的输出管壳、输出陶瓷环和封头构成并形成有结构间隙,所述结构间隙填有焊料,所述天线一端与封头密封联接;当所述磁控管芯抽真空时,所述结构间隙与焊料之间留有抽气通道;当所述磁控管芯密封焊接时,所述焊料充满密封结构间隙。

本实用新型的无抽气管磁控管芯在进行抽除封工艺前,结构间隙处填充的焊料尚未溶化,结构间隙尚未被密封,磁控管芯内部通过结构间隙作为抽气通道与外部相通。进行抽除封工艺时,先将结构间隙尚未被密封的无抽气管磁控管芯放置在现有真空炉内,将阴极引线端子与外电源连接,并将阳极筒接地,再将真空炉上直接与真空泵连接的真空阀门打开并对真空炉抽真空,这样真空炉的真空度即与真空泵抽口的真空度基本相同;抽真空同时,在真空炉内对无抽气管磁控管芯进行加热除气、阴极处理等工艺过程完成后,最后密封焊接,焊料溶化将结构间隙充满密封。由于真空炉的真空度很高,因此抽真空时,与真空炉相通的无抽气管磁控管芯内部可达到与真空炉一样的高真空度。又由于无抽气管磁控管芯在真空炉被全面加热,整个无抽气管磁控管芯的所有部分都能达到高温,因此可使整个无抽气管磁控管芯的所有部分都能进行除气,从而可进一步保证无抽气管磁控管芯所达到的高真空度。

本实用新型的磁控管芯相比现有磁控管芯,通过输出组件形成独特的结构间隙取代现有的抽气管来作为抽气通道,从而构成无抽气管的抽真空结构,并巧妙利用现有真空炉对无抽气管磁控管芯进行抽除封工艺,杜绝了现有磁控管芯抽真空时磁控管芯内部与真空泵之间产生的真空度差,从而使本发明的无抽气管磁控管芯内部达到更高的真空度。

上述技术方案的改进之一是:所述结构间隙是封头底端面与输出陶瓷环出口端面之间形成的第一环缝,所述天线一端与封头密封联接。

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