[实用新型]PECVD用硅片载片器的转换装置

权利要求书

1.一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体(3)，其特征是：所述框体(3)的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体(3)内设置有方形内孔(4)，所述方形内孔(4)的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。

2.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述方形内孔(4)的四个角为圆角。

3.按照权利要求2所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述方形内孔(4)的中心与所述框体(3)的中心同心。

4.按照权利要求3所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述框体(3)的四条边上均设置有第一半腰圆槽(8)，第一半腰圆槽(8)的中心线垂直于对应的边线，所述框体(3)内设置有第一腰圆孔(9)，第一腰圆孔(9)的纵向中心线与第一半腰圆槽(8)的中心线重合。

5.按照权利要求3或4所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述方形内孔(4)的四条边上设置有第二半腰圆槽(6)，第二半腰圆槽(6)的中心线垂直于相应的边线，所述框体(3)内设置有第二腰圆孔(7)，第二腰圆孔(7)的纵向中心线与第二半腰圆槽(8)的中心线重合。

6.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述框体(3)的边长为156mm，所述方形内孔(4)的边长为125mm；所述方形内孔(4)为正方形。