[实用新型]一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置

说明书

技术领域

本实用新型属于薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的时间继电器式自动送粉装置。

背景技术

以合金或化合物为原材料进行合金或化合物薄膜的沉积时，大多数化合物，特别是硫族化合物，各组成元素的饱和蒸气压相差很大，用简单的蒸发方法难以由化合物镀料沉积出组成符合化学计量比的薄膜。瞬间蒸发法又称“闪烁”或“微分”蒸发法，它是将细小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中，使蒸发物质在蒸发源上实现瞬间完全蒸发。如果颗粒尺寸很小，蒸发源的温度达到高熔点组元的蒸发温度，则几乎能对任何组分进行同时蒸发。这就是将整体镀料微分成许多小的个体，每一个个体蒸发沉积的薄膜成分因为同时蒸发而基本符合化学当量，由此沉积的整体薄膜成分与原材料基本相同，从而防止了分馏现象。

送粉装置是瞬间蒸发法中一个非常重要的组成部分，当前的问题是：每次送粉量很难精确控制，时多时少，这对薄膜的质量产生较大的影响。用于蒸发的材料直径为0.2-0.3mm的颗粒状，因此，将细小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中以及送粉时间间隔可控是瞬间蒸发法沉积高质量薄膜的关键。

发明内容

本实用新型为解决上述问题而提供一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置，具有送粉时间间隔可控式高精度自动送粉，将粉末颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中，从而实现每次送粉量的少而精确控制。

本实用新型为实现上述目的而提供的技术方案包括：由电气控制部分和送粉控制部分构成，电气控制部分包括电源，开关，可变电阻，触头，弹片，衔铁，电磁铁和时间继电器，送粉控制部分包括控制杆，挡板，储粉罐和粉末，其中触头与电磁铁之间设有弹片和衔铁，储粉罐与衔铁焊接在一起。储粉罐内装有0.2-0.3mm的粉末材料，其底部开有直径为10mm的出粉量孔，在储粉罐中放置控制杆，其主体部分直径为9.7mm，另一部分直径为15mm。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于，

1、在储粉罐中放置控制杆，其作用是恒位于储粉罐内，防止应振动使粉末堵塞于出粉孔处，更重要的是限制每次振动送粉的数量，使粉末一点一点地依次送到高温的蒸发源中；通过时间继电器实现送粉时间间隔的可控选择，从而实现送粉的高精度控制。

2、结构简单、成本较低、送粉量均匀、送粉时间间隔可调，扩大了送粉装置的使用范围，有利于提高瞬间蒸发法沉积薄膜的质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中本实用新型出粉孔剖视图；

图3为图2的使用状态结构图之一；

图4为图2的使用状态结构图之二。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。本实用新型不仅局限于这一个实施例，凡是采用本设计的结构和思路，做一些简单的变化或更改的设计，都落入本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型用于瞬间蒸发法制备薄膜的送粉装置结构为：电气控制部分由电源1、开关2、可变电阻3、触头4、弹片5、衔铁6、电磁铁11和时间继电器12组成，送粉控制部分由控制杆7、挡板8、储粉罐9和粉末10组成，其中触头4与电磁铁11之间设有弹片5和衔铁6，储粉罐9与衔铁6焊接在一起。如图2所示为出粉孔的剖视图，储粉罐9底部的直径为30mm，所述控制杆7的主体部分直径为9.7mm，另一部分直径为15mm，储粉罐底部开有孔径为10mm的出粉量孔，如图2图3和图4所示，当处于A₂-A₂图示的相切情况时，粉末才能下落；介于A₂-A₂和A₁-A₁之间的状态，粉末均不会下落。

送粉过程的实现：合上开关，电磁铁有电流通过，产生了磁性，把衔铁吸过来，带动储粉罐向下移动，同时触头与弹片分离，电路断开；电磁铁失去了磁性，衔铁又被弹回，带动储粉罐向上移动，同时触头与弹片接触，电路闭合，不断重复，使储粉罐产生振动；此时，通过可变电阻的改变调节振动的强度，达到瞬间蒸发法送粉的振动强度要求；最后再配合瞬间蒸发法的工艺要求，通过时间继电器执行延时指令，需延时或限时到规定的时间才闭合或断开其控制电路，使送粉时间间隔的控制得以实现。