[实用新型]一种装备轴向静磁场的真空晶体生长设备

权利要求书

1.一种装备轴向静磁场的真空晶体生长设备，包含炉体上盖(1)、立式纵向炉体(2)，其特征在于，立式纵向炉体(2)由上盖板(1)和下盖板(6)部分密封；立式纵向炉体(2)内部的加热电源由上盖板的铜接头引入，炉体内部不同区间的测温热电偶分别由上盖板(1)、下盖板(6)预留接头分别引出；立式纵向炉体(2)下部与纵向炉体支架(9)连接；立式纵向炉体(2)的筒壁是通水冷却层，炉体内设置有加热电阻元件，炉体内筒壁和加热电阻元件之间设置有保温层；保温层的下部留有能容纳下拉杆(8)进出的管孔；立式纵向炉体(2)底部位置与抽真空系统(4)通过管路连接，抽真空系统(4)由机械泵和扩散泵组成。

2.根据权利要求1所述一种装备轴向静磁场的真空晶体生长设备，其特征在于，所述的立式纵向炉体(2)中部周围设置有纵向磁场装置(3)，纵向磁场装置(3)设置于磁场装置支架(5)上；磁场装置(3)的励磁线圈采用通水铜管或超导线圈，磁场的中心区域能够形成纵向大于10厘米的均匀轴向磁场。

3.根据权利要求2所述一种装备轴向静磁场的真空晶体生长设备，其特征在于，下盖板(6)和通水冷却室(7)相连。

4.根据权利要求3所述一种装备轴向静磁场的真空晶体生长设备，其特征在于，抽真空系统(4)由分子泵组成。