[实用新型]导流型热蒸发沉积装置

说明书

技术领域

本实用新型属于热蒸发薄膜制备领域，具体涉及一种热蒸发沉积薄膜所用的导流型热蒸发沉积装置。

背景技术

热蒸发是薄膜制备的一种最基本和最常用的方法。因它具有较高的沉积速率和较高的薄膜质量等优点，在薄膜制备领域中有着非常广泛的应用。但通常热蒸发均采用蒸汽由下方往上方沉积的方式进行，不适用于对一些需要蒸汽由上方往下方沉积的应用场合。

发明内容

现有技术中热蒸发不适合蒸汽由上方往下方沉积的应用领域，本实用新型提供一种导流型热蒸发沉积装置，适用于需要在下方固定样品的热蒸发气相沉积，可满足特定领域的需要。

本实用新型的一种导流型热蒸发沉积装置，其特点是，所述的装置包括加热炉、导流管以及导流管加热罩；所述的加热炉以中心轴为中心，通过由内向外依次设置的加热丝架、内保温筒和外保温筒构成；采用上下相对应设置的第一圆形瓷环和第二圆形瓷环作骨架，在第一圆形瓷环和第二圆形瓷环圆周上相对应设有均匀分布的数个小孔，通过加热丝上下对穿连接成一个圆筒形的加热丝架；在加热丝架内设置有蒸发舟；在所述的两个圆形瓷环和加热丝架的外围设置有内保温筒。

在所述的第二圆形瓷环下方设置同轴心的加热丝架支撑座，加热丝架通过均匀分布的三根对穿第一圆形瓷环和第二圆形瓷环的长固定螺杆固定在加热丝架支撑座上，长固定螺杆的两端均设有外螺纹，长固定螺杆的一端与加热丝支撑架连接，另一端与导流管底座基座连接，长固定螺杆在穿过所述的两个圆形瓷环的部位均通过螺母固定两个圆形瓷环之间的相对距离；在加热丝架支撑座上设置有固定温度探头的中心固定孔，温度探头通过中心固定孔设置于蒸发舟底部，并与蒸发舟接触；在加热丝架支撑座与长固定螺杆的外围设置有外保温筒；

在加热丝架支撑座下方连接有中心轴，中心轴的一端穿过加热炉与热丝架支撑座固定连接，另一端与底座法兰连接，将加热炉固定设置在底座法兰上；底座法兰上开有两孔引出两根金属管作为进水管和出水管，进水管和出水管的一端与底座法兰密封连接，另一端分别与外保温筒相连接。

所述的中心轴、第一圆形瓷环、第二圆形瓷环、加热丝架支撑座、蒸发舟均为同轴心设置。

所述的导流管包括导流管底座、导流管管道和导流管喷头帽，导流管底座包括导流管底座基座和导流管底座接头，导流管外围设有导流管加热罩。导流管底座基座与加热炉中蒸发舟的蒸发口密封固定连接，导流管底座基座上设有通孔，导流管底座基座通过通孔与内螺纹柱子一端连接，内螺纹柱子的另一端与加热炉内的长固定螺杆连接。

导流管管道一端与导流管底座接头固定连接，导流管管道的另一端设有外螺纹接头，喷头帽设置在外螺纹接头上。导流管加热罩壳体上设有环绕的加热丝，还设有用于加热丝的固定和与壳体绝缘的开槽盘头螺钉、螺母和绝缘柱，导流管加热罩的底板开有孔用以伸出喷头帽，喷头帽开有出孔。

所述的蒸发舟的形状为一端开口的圆柱形。

导流管管道的内径为4mm～6mm，喷头帽出孔的孔径小于导流管管道的内径。

导流管管道中段设有基准点，导流管加热罩内相对应基准点的部位设有用以标示和固定喷头帽出孔的喷射角度的角度标尺。

本实用新型的装置工作时，需配以温度测量控制仪，配以真空室和真空机组，整个装置须在真空环境下工作。为了减小热量的损失，在两圆形瓷环之间和加热丝外围设有圆柱形聚四氟乙烯材料的内保温筒，将加热丝完全包覆其中。为了解决加热丝架的强度和固定问题，设置了一个圆形金属加热丝架支撑座。长固定螺杆的设置不仅用来固定两圆形瓷环间的距离，也提高了整个加热丝架的强度。由于整个加热炉需要在真空中使用，需要通过真空法兰来密封和内外连接加热和测控的电路连线，把整个加热炉设置在一个真空法兰上。

为了减小加热炉的热辐射对外界的影响，在整个加热丝架的外部设置了一个外保温筒，从底座法兰上引出两根金属管道作为进水管和出水管，同时两根水管起到支撑和托起外保温筒的作用，整个加热丝架放入外保温筒之内并完全罩在其中。使用时通以循环水用以加热炉的水冷。蒸发口通过聚四氟乙烯垫片与导流管底座密封，设置的三个内螺纹柱子，其一端紧旋于加热炉内固定长螺杆上，另一端作为与导流管底座密封固定的内螺纹。