[实用新型]一种光学无损检测物品表面的装置

权利要求书

1.一种光学无损物体表面的测量装置，其特征在于包括激光器(1)、扩束准直透镜组、带镜头的线阵CCD(5)、微位移平台(6)和计算机(7)、可转动的平面反射镜(4)、可前后移动的平面反射镜(9)、分光棱镜(8)；激光器(1)的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置，在激光器(1)的光轴上设置扩束准直透镜组；在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置分光棱镜(8)、可前后移动的平面反射镜(9)；在与被测物品反射光束的中心轴线垂直的方向上在分光棱镜(8)的两侧分别设置可转动的平面反射镜(4)和带镜头的线阵CCD(5)，且可前后移动的平面反射镜(9)到分光棱镜(8)的距离与可转动的平面反射镜(4)到分光棱镜(8)的距离相等；带镜头的线阵CCD(5)固定在微位移平台(6)上，线阵CCD(5)采集的图像信号输出至计算机(7)，计算机(7)的控制信号输出至微位移平台(6)控制微位移平台(6)的移动；所述扩束准直透镜组包括显微物镜(2)和透镜(3)，显微物镜(2)设置在激光器(1)的前端，然后设置透镜(3)，透镜(3)的焦点位于显微物镜(2)的焦点处；所述显微物镜的放大倍数至少为样品表面面积与激光束截面面积的比值，使通过扩束准直透镜组扩束后的平行光束照明整个被测样品表面；所述的线阵CCD(5)位于样品通过线阵CCD(5)镜头所成像的像平面上；所述平面反射镜(4)的中心与分光棱镜(8)中心的连线垂直于微位移平台(6)的移动方向，微调平面反射镜(4)的旋转角度，使经过分光棱镜(8)到线阵CCD(5)的两束光之间角度为0.01°～20°。

2.根据权利要求1所述的光学无损物体表面的测量装置，其特征在于：所述的微位移平台(6)为一维方向移动微位移平台。

3.根据权利要求1所述的光学无损物体表面的测量装置，其特征在于：所述的激光器(1)采用氦氖激光器。

4.根据权利要求1所述的光学无损物体表面的测量装置，其特征在于：所述的线阵CCD(5)为像素呈一维阵列分布的电荷耦合器件。

5.根据权利要求1或4所述的光学无损物体表面的测量装置，其特征在于：所述的线阵CCD(5)为线阵CMOS。