[实用新型]一种无损检测非平面物品表面的装置无效
| 申请号： | 200920245347.7 | 申请日： | 2009-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN201555809U | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 无损 检测 平面 物品 表面 装置 | ||
1.一种无损检测非平面物品表面的装置，其特征在于包括激光器(1)、显微物镜(2)，剪切角固定的光楔(4)，柱透镜(5)，线阵CCD(6)，二维方向移动微位移平台(7)和计算机(8)；激光器(1)的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置，在激光器(1)的光轴上与被测物品之间设置显微物镜(2)；在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔(4)、柱透镜(5)和线阵CCD(6)；线阵CCD(6)固定于二维方向移动微位移平台(7)上，线阵CCD(6)采集的图像信号输出至计算机(8)，计算机的控制信号输出至二维方向移动微位移平台(7)控制二维方向移动微位移平台(7)的移动；所述的线阵CCD(6)位于样品通过柱透镜5)所成像的像平面上；所述的剪切角固定的光楔(4)紧贴柱透镜(5)放置，调整经过剪切角固定的光楔(4)的两束光相对于待测样品轴线对称，且两束光之间角度为0.01°～20°；调整所述显微物镜(2)距被测样品的位置使通过显微物镜(2)扩束后的光束照明整个被测样品表面。
2.根据权利要求1所述的无损检测曲面物品表面的装置，其特征在于：所述激光器(1)采用氦氖激光器.
3.根据权利要求1所述的无损检测曲面物品表面的装置，其特征在于：所述线阵CCD(6)为像素呈一维阵列分布的电荷耦合器件。
4.根据权利要求1或3所述的无损检测曲面物品表面的装置，其特征在于：所述的线阵CCD(6)为线阵CMOS。
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