[实用新型]一种三氟化硼输送装置有效
| 申请号： | 200920246706.0 | 申请日： | 2009-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN201575302U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张奕;郭巍;张雪生;陆亦军;杜学臣 | 申请（专利权）人： | 中国蓝星(集团)股份有限公司;上海蓝星化工新材料厂 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01;B08B9/032 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘铁生 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 输送 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氟化硼输送装置，包括物料管线，其特征在于：在物料管线上设有抽真空管线和吹扫管线，所述的抽真空管线用于将三氟化硼输送管线内的三氟化硼抽取干净，所述的吹扫管线用于将残留的三氟化硼及杂质冲洗干净。
2.如权利要求1所述的三氟化硼输送装置，其特征在于：所述抽真空管线上依次设有文丘里真空供给阀(VVS)、止逆阀(CV2)和真空发生器，所述真空发生器吸入口与物料管线上质量流量计(MFC)入口之间的管线上设有低压隔离阀(A4)，所述低压隔离阀(A4)与物料管线上调压阀(REGA)入口之间的管线上依次设有止逆阀(CV3)和低压隔离阀(LPVA)，所述止逆阀(CV3)与物料管线上高压隔离阀(HPIA)之间的管线上设有高压排空阀(HPV)。
3.如权利要求1所述的三氟化硼输送装置，其特征在于：所述吹扫管线一端为进气端，另一端与物料管线上高压隔离阀(HPIA)的出口端相连，所述吹扫管线上从进气端依次设有止逆阀(CV1)和吹扫气体隔离阀(PGIA)。
4.如权利要求1所述的三氟化硼输送装置，其特征在于：所述吹扫管线中的气体为惰性气体。
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