[实用新型]一种动态间隙测量传感器

权利要求书

1.一种动态间隙测量传感器，其特征在于：包括载荷-微应变单元(1)、信号处理单元(2)、位移-载荷单元、锁紧螺盖(9)、调整座(10)、调整垫片(11)、膜片安装座(12)和外罩(13)，其中位移-载荷单元包括测杆(3)、弹簧测杆支承(4)、测杆滑动轴承(5)、测量弹簧(6)、弹簧膜片支承(7)和轴承安装基座(8)，其中测杆滑动轴承(5)安装在轴承安装基座(8)上，测杆(3)的一端穿过测杆滑动轴承(5)后，与弹簧测杆支承(4)固定连接，测量弹簧(6)的两端分别与弹簧测杆支承(4)、弹簧膜片支承(7)过盈连接，弹簧膜片支承(7)与载荷-微应变单元(1)间隙配合连接，信号处理单元(2)通过第二螺钉(16)安装在载荷-微应变单元(1)上，载荷-微应变单元(1)通过第三螺钉(17)与膜片安装座(12)固定连接，调整座(10)与膜片安装座(12)螺纹连接，锁紧螺盖(9)的一端与调整座(10)螺纹连接，并将位移-载荷单元定位，外罩(13)通过第一螺钉(15)与膜片安装座(12)连接。

2.根据权利要求1所述的一种动态间隙测量传感器，其特征在于：所述测杆(3)的一端穿过测杆滑动轴承(5)与弹簧测杆支承(4)固定连接后，弹簧测杆支承(4)外端还设置一个螺母(14)，防止弹簧测杆支承(4)松动。

3.根据权利要求1所述的一种动态间隙测量传感器，其特征在于：所述轴承安装基座(8)与调整座(10)之间安装有调整垫片(11)，用于调整测量弹簧(6)的初始高度。

4.根据权利要求3所述的一种动态间隙测量传感器，其特征在于：所述调整垫片(11)对测量弹簧(6)初始高度的调整范围为±2mm。

5.根据权利要求1所述的一种动态间隙测量传感器，其特征在于：载荷-微应变单元(1)由硬芯(23)、溅射膜片(24)和应变电阻惠斯通电桥(25)组成，其中溅射膜片(24)带有硬芯(23)，且周边带固定支承(26)，应变电阻惠斯通电桥(25)通过离子束溅射工艺形成在溅射膜片(24)上。

6.根据权利要求1所述的一种动态间隙测量传感器，其特征在于：还包括电连接器(18)通过电缆与信号处理单元(2)连接。