[实用新型]铝合金表面氧化处理装置无效
申请号: | 200920248690.7 | 申请日: | 2009-11-24 |
公开(公告)号: | CN201538810U | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 李杨;王亮;沈烈;张丹丹;王春华 | 申请(专利权)人: | 大连海事大学 |
主分类号: | C23C8/10 | 分类号: | C23C8/10;C23C8/36 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 李洪福 |
地址: | 116026 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝合金 表面 氧化 处理 装置 | ||
1.一种铝合金表面氧化处理装置包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统、冷却系统,所述的进气系统包括气瓶、稳压阀和进气口(10),进气口(10)安装在真空炉顶部,通过稳压阀与气瓶相连;所述的供电系统采用脉冲直流高压电源或直流溅射高压电源;所述的测温系统为常用KS型-热电偶(17);所述的抽真空系统包括真空泵(7)及其管路,所述的真空泵(7)通过管路与真空炉相连;其特征在于:所述的真空炉为离子扩渗设备,包括冷却观察室窗(11)、炉壁(13)、底座(14)和炉门,所述的炉壁(13)与阳极电源(9)相连;所述的真空炉内安装有工件平台和空心阴极辅助装置;所述的工件平台包括支座(16)、载物台(3)、绝缘体(5),所述的绝缘体(5)由中心平台和绝缘环组成、位于支座(16)上,所述的支座(16)位于真空炉底座(14)上,所述的载物台(3)位于绝缘体(5)的中心平台上,用于放置工件(6),所述的载物台(3)与阳极电源(9)连接;所述的空心阴极辅助装置由两个直径不同且带有孔洞的大圆筒(1)和小圆筒(2)组成,所述的大圆筒(1)和小圆筒(2)构成同轴双层圆筒,位于绝缘体(5)的绝缘环上,并通过绝缘环隔离,所述的小圆筒(2)和大圆筒(1)分别与阴极电源(4)连接。
2.根据权利要求1所述的铝合金表面氧化处理装置,其特征在于:所述的大圆筒(1)和小圆筒(2)由不锈钢制成,小圆筒(2)的直径为300~350mm,大圆筒(1)的直径为320~370mm,并保持大圆筒(1)与小圆筒(2)的间距为8~10mm,小圆筒(2)的筒壁上平均分布直径为7~10mm的孔洞,孔洞边缘最小间距为8~10mm。
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