[实用新型]一种内置郎缪尔探针H2O2气体低温等离子体灭菌装置

权利要求书

1.一种内置郎缪尔探针H₂O₂气体低温等离子体灭菌装置，包括有金属密闭容器，其特征在于，所述金属密闭容器内设有天线，天线连接有直流电源和射频电源，所述金属密闭容器连接一个真空泵、一个真空计、一个过滤充气器，所述密闭容器内设一根郎缪尔探针，所述郎缪尔探针的信号输出端连接一个分析、计算出等离子体的物理特征量的控制系统，所述控制系统控制所述直流电源和射频电源。

2.根据权利要求1所述的内置郎缪尔探针H₂O₂气体低温等离子体灭菌装置，其特征在于，所述控制系统包括依次与所述郎缪尔探针连接的放大驱动电路、模/数转换卡和采集分析控制系统，采集分析控制系统连接所述直流电源和射频电源。

3.根据权利要求1所述的内置郎缪尔探针H₂O₂气体低温等离子体灭菌装置，其特征在于，所述密闭容器连接一个温度计。

4.根据权利要求1所述的内置郎缪尔探针H₂O₂气体低温等离子体灭菌装置，其特征在于，所述天线通过绝缘支架固定在密闭容器内。

5.根据权利要求1或4所述的内置郎缪尔探针H₂O₂气体低温等离子体灭菌装置，其特征在于，所述天线为筛网状天线。