[实用新型]手持式光罩夹无效
申请号: | 200920255402.0 | 申请日: | 2009-11-13 |
公开(公告)号: | CN201532521U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 储著飞;程光中;刘涛;刘刚 | 申请(专利权)人: | 和舰科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陈忠辉;姚姣阳 |
地址: | 215025 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 手持 式光罩夹 | ||
1.手持式光罩夹,包括手持作业用的绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂a和导电夹臂b,所述导电夹臂a和导电夹臂b在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻,并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连,其特征在于:所述电阻为阻值可调电阻,两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表,并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关,所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。
2.根据权利要求1所述的手持式光罩夹,其特征在于:所述开关的公共端与导电夹臂相连时,构成工作回路;所述开关的公共端与微型欧姆电表或微型电源相连时,构成校验回路。
3.根据权利要求1或2所述的手持式光罩夹,其特征在于:所述微型电源为纽扣电池。
4.根据权利要求1所述的手持式光罩夹,其特征在于:所述阻值可调电阻为旋转手柄式可调电阻,且所述手柄上车有螺纹并装载有与螺纹相匹配的固定螺母。
5.根据权利要求1所述的手持式光罩夹,其特征在于:所述阻值可调电阻的值域为1M欧姆~1.5M欧姆。
6.根据权利要求1所述的手持式光罩夹,其特征在于:所述导电夹臂a和导电夹臂b之一与绝缘手柄之间设有带弹簧的夹臂张开按钮。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
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G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备