[实用新型]一种激光器谐振腔的支撑机构

权利要求书

1.一种激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述支撑机构包括用于承载谐振腔的手动支撑机构和用于抗谐振腔的应力变形的智能支撑机构。

2.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述手动支撑机构包括支撑横梁、第一支撑侧板、第二支撑侧板、调节螺钉、第一中间固定座和第二中间固定座；

所述支撑横梁安装于基座上；

所述第一支撑侧板与所述第二支撑侧板经所述调节螺钉改变其相对所述支撑横梁的竖直距离；

所述第一支撑侧板的上端支撑所述第一中间固定座、所述第二支撑侧板的上端支撑所述第二中间固定座。

3.根据权利要求2所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述手动支撑机构包括固定块和紧固螺钉；所述固定块位于所述第一支撑侧板与所述第二支撑侧板之间且与所述支撑横梁连接；所述第一支撑侧板与所述第二支撑侧板经紧固螺钉连接于所述固定块。

4.根据权利要求3所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述固定块与所述支撑横梁为一体式结构。

5.根据权利要求3所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述固定块与所述支撑横梁经连接件固定在一起。

6.根据权利要求2所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述第一中间固定座与所述第二中间固定座平行设置；在所述第一中间固定座与所述第二中间固定座之间的位置设置第三中间固定座。

7.根据权利要求6所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述智能支撑机构与所述第三中间固定座连接，驱动所述第三中间固定座微移，以消除谐振腔的应力变形。

8.根据权利要求7所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：所述智能支撑机构根据谐振腔的应力变形信号调节所述第三中间固定座相对所述支撑横梁的竖直距离。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：本支撑机构包括多个支撑管，该多个支撑管平行于所述第一中间固定座或所述第二中间固定座，且该多个支撑管固定连接于所述第一中间固定座和第二中间固定座上。

10.根据权利要求7所述的激光器谐振腔的支撑机构，其特征在于：在所述多个支撑管的两端分别固定第一端板和第二端板；该第一端板和第二端板用于安装谐振腔的两镜座。