[实用新型]钽溅射环组件有效
| 申请号： | 200920266358.3 | 申请日： | 2009-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN201538814U | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴靖靓;李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种钽溅射环组件，包括具有开口的环形本体，所述环形本体在开口位置具有弧形角，其特征在于，所述弧形角的弧形半径大于6.35mm。
2.根据权利要求1所述的钽溅射环组件，其特征在于，所述弧形角的弧形半径为10～20mm。
3.根据权利要求1所述的钽溅射环组件，其特征在于，所述开口的宽度为6.35±0.25mm。
4.根据权利要求1所述的钽溅射环组件，其特征在于，所述钽溅射环组件的直径为285±0.5mm。
5.根据权利要求1所述的钽溅射环组件，其特征在于，所述钽溅射环组件的宽度为50.8±0.25mm。
6.根据权利要求1所述的钽溅射环组件，其特征在于，所述钽溅射环组件的厚度为3.18±0.25mm。
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