[实用新型]基板载具无效
申请号: | 200920269840.2 | 申请日: | 2009-11-09 |
公开(公告)号: | CN201567369U | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 黄泳钊;郑博仁;曾政富;陈俊佑 | 申请(专利权)人: | 北儒精密股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李树明 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板载具 | ||
1.一种基板载具,用以承载一基板,并包含一个框设在该基板的一周缘的框架、一个设置在该框架的一内缘处的夹扣单元,以及一个设置在该框架的内缘的底侧处的支撑座;其特征在于:
该夹扣单元具有一个固设在该框架的内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、一个突伸设置在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片,以及一个卷绕在该轴杆上且能驱使该翘摆座的相反另一端部远离该框架的复位弹性件。
2.如权利要求1所述的基板载具,其特征在于:该翘摆座具有一个枢套在该轴杆上且能于该框架上摇摆的轮座部,以及一个固定在该轮座部上的翘板部,该弹压片是设置在该翘板部的一端部。
3.如权利要求2所述的基板载具,其特征在于:该夹扣单元还具有一个用以将该弹压片定位在该翘摆座的翘板部上的固定块,以及一个用以将该固定块、该弹压片与该翘摆座锁组在一起的螺丝。
4.如权利要求3所述的基板载具,其特征在于:该夹扣单元的复位弹性件是一扭力弹簧,其一端是连接该翘摆座的翘板部,另一端则是连接该框架。
5.如权利要求1至4中任一所述的基板载具,其特征在于:该支撑座具有一个供该基板的底部插置的凹槽。
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