[实用新型]多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置有效
| 申请号： | 200920272438.X | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN201580991U | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 唐前正;张新;赵新征;卢涛;彭卡;李品贤 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;C01B33/023;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 杨冬 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 还原 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，包括抽真空装置(1)，其特征是：抽真空装置(1)通过连接管道(5)与还原炉(4)的尾气出口连接，还原炉(4)的尾气出口与所述连接管道(5)之间设置有排气阀(3)，所述抽真空装置(1)的极限真空度≥0.06MPa。
2.如权利要求1所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：用至少两台分别在其接口设置阀门(2)的抽真空装置(1)并联后再通过连接管道(5)与还原炉(4)的尾气出口连接。
3.如权利要求1或2所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：所述还原炉(4)有至少两台，各台还原炉(4)并联设置。
4.如权利要求1或2所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：所述还原炉(4)上连接有压力表(6)。
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