[实用新型]一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器有效
| 申请号： | 200920277824.8 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201605348U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 韩海建;梁书正;赵洋;谷宇恒;闫志瑞 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 区熔法 生长 单晶硅 籽晶 夹持 | ||
【权利要求书】：
1.一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，其特征在于它包括：籽晶夹持器主体(1)和与籽晶夹持器主体(1)相配合的紧固套(2)。
2.根据权利要求1所述的硅籽晶夹持器，其特征在于所述的籽晶夹持器主体包括上部圆锥体(1b)，下部基座(1C)，其中下部基座为圆柱体，该圆柱体外部开有螺纹。
3.根据权利要求2所述的硅籽晶夹持器，其特征在于所述的紧固套(2)沿轴向开有一上下贯通的空腔，空腔上部(2a)为台状，下部(2b)为圆柱状，圆柱状空腔内壁开有与夹持器上部基座的外部螺纹相匹配的螺纹。
4.根据权利要求2或3所述的硅籽晶夹持器，其特征在于所述的籽晶夹持器上部内部沿轴向开有一空腔，该空腔的形状是圆柱形或棱柱形。
5.根据权利要求2或3所述的硅籽晶夹持器，其特征在于所述的籽晶夹持器上部圆锥体(1b)的侧边与垂直线之间的夹角α为10°～90°。
6.根据权利要求1所述的硅籽晶夹持器，其特征在于籽晶夹持器主体下部基座(1a)和紧固套筒的外部形状是圆柱体、棱柱体、圆台其中的一种。
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