[实用新型]多路检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及质量流量测量技术领域，尤其涉及一种测量气体质量流量控制器/计零漂的多路检测系统。

背景技术

流量测量和控制是工业领域中非常重要的一部分。质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。质量流量计(Mass Flow Meter，MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量。MFC/MFM通过输出与流经的气体流量成比例的模拟电压信号，从而测量流经的气体流量。由于生产过程中的误差以及温度变化的影响，MFC/MFM经常会出现零点漂移的现象，零漂是判断MFC/MFM是否合格的一个重要指标。

目前，仅通过检测瞬时信号来进行MFC/MFM零漂的检测，此种方法不能那个实现在线实时观察零点漂移过程，且一次检测MFC/MFM的数量有限。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多路检测系统，该系统可实现在线实时监测MFC/MFM的零点漂移过程，一次检测数量多，可克服现有技术的不足。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。

一种多路检测系统，该系统包括：多路采集模块，将采集到的模拟信号传送至A/D转换模块；A/D转换模块，与所述多路采集模块相连，将其传送的模拟信号转换后传送至控制模块；控制模块，与所述A/D转化模块以及多路采集模块均相连，将所述A/D转换模块传送的数据存储到存储模块；存储模块，与所述控制模块相连。

其中，所述多路采集模块为多路复用开关。

其中，所述多路复用开关具有98路差分模拟通道。

其中，所述控制模块为CPU。

本实用新型的多路采集系统通过对待检测的MFC/MFM流量检测信号的检测，实时在线检测MFC/MFM的状态，且多路复用开关的使用大大扩展了可检测产品的数量。

附图说明

图1为依照本实用新型一种实施方式的多路检测系统的结构框图；

图2为依照本实用新型一种实施方式的多路检测系统的多路采集模块与A/D转化模块的连接示意图；

图3为依照本实用新型一种实施方式的多路检测系统的工作流程图；

图4为依照本实用新型一种实施方式的多路检测系统的控制模块数据采集流程图

具体实施方式

本实用新型提出的多路检测系统，结合附图和实施例说明如下。

如图1所示，依照本实用新型一种实施方式的多路检测系统包括：多路采集模块，用于采集待检测的MFC/MFM的流量检测信号，并将采集到的模拟信号传送至A/D转换模块；高速多精度A/D转换模块，可对差分输入模块进行A/D转换，也可以对单端输入模块进行A/D转换，该模块与多路采集模块相连，将其传送的模拟信号转换为数字信号后传送至控制模块；控制模块，为CPU，负责整个程序的执行、任务的调度、数据的转存，是整个系统的核心，其与A/D转化模块以及多路采集模块均相连，用于选通多路采集模块的采集通道，控制A/D转换模块的转换，并将A/D转换模块传送的数据存储到存储模块，根据用户需要，调用存储在存储模块的信息；存储模块，与控制模块相连，用于将采集到的数据进行存储，并回调给控制模块。

其中，如图2所示，多路采集模块为多路复用开关，其COM+于COM-端直接接到A/D转换模块的模拟输入引脚。CH0与CH1组成多路采集模块的第一路差分模拟通道，与继电器1相连；CH195与CH196组成多路采集模块的第98路差分模拟通道，与继电器98相连，多路复用开关通过控制继电器的通断来控制开关的连接状态，从而通断某一通道。98路差分模拟通道大大扩展了可进行检测的MFC/MFM产品的数量。

每个继电器的通断都是通过CPU写状态字来控制，如图3所示，使用本系统时，将待检测的MFC/MFM产品分别与多路复用开关的相应通道相连，设置系统的各参数，包括检测温漂的时间、阀老化时间、PID老化时间、温漂范围、A/D采样周期以及A/D采样间隔等，输入对应通道号以及要查看的MFC/MFM的序号，开始对待检测的MFC/MFM的流量检测信号进行采集。随着老化时间的逐步减少，直到等于0时，检测完成，查看检测的MFC/MFM的检测结果，从而判断其是否满足零温漂条件。系统运行中由CPU选择通道，并控制A/D转换的开始和结束，选通某个通道时，A/D转换模块就开始转换，断开时转换结束，并将转换的数据发送到CPU中，CPU同时把数据存储在存储模块中，待需要时再从该模块读取。

如图4所示，检测开始后CPU扫描采集通道的状态，若没有选择采集通道则继续扫描，直至有采集通道被选择时进行数据的采集、处理、及存储等操作。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。