[实用新型]一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉

权利要求书

1.一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，它包括钟罩式炉筒(1)、底盘(2)、原料气进口(7)及其管道(3)、尾气出口(8)及其管道(4)、硅芯底座(5)及硅芯(6)；炉筒(1)固定在底盘(2)上并密封，底盘(2)上连接原料气进口(7)及其管道(3)和尾气出口(8)及其管道(4)并设有硅芯底座(5)，硅芯(6)固定在硅芯底座(5)上，其特征在于底座(5)以正多边形规律排布，每个独立的正多边形内均设有原料气进气口(7)。

2.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述炉筒(1)设有冷却夹套。

3.根据权利要求1或2所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述炉筒(1)壳体上设有观察窗口。

4.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述底盘(2)设有冷却夹套。

5.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述硅芯底座(5)内部设有电极。

6.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述硅芯底座(5)数量为偶数并在底盘上按正多边形排列。

7.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，每个所述硅芯底座(5)上固定有一根所述硅芯(6)，每两根硅芯顶端用横梁(9)相连。

8.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，所述底盘(2)上至少设有一个所述尾气出口(8)及其管道(4)。

9.根据权利要求1所述的适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，其特征在于，原料气进口(7)设置于硅芯底座组成的正多边形单元的几何中心。