[实用新型]单/多晶硅棒切割机无效
申请号: | 200920287130.2 | 申请日: | 2009-12-31 |
公开(公告)号: | CN201677411U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 贺贤汉;夏孝平 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B24B27/06;B24B55/02;B24B55/06 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 切割机 | ||
1.一种单/多晶硅棒切割机,包括用于切割晶硅的切割系统及冷却系统,其特征在于,还包括晶硅固定装置,所述晶硅固定装置包括用于夹紧晶棒不让其在切割时发生移动的固定夹紧工装,所述固定夹紧工装可调整位置地设置在切割机的台面上。
2.如权利要求1所述的单/多晶硅棒切割机,其特征在于,切割系统包括用于切割晶硅的砂轮片,固定夹紧工装包括第一固定夹紧工装、第二固定夹紧工装、第三固定夹紧工装和第四固定夹紧工装,并且,第一固定夹紧工装、第二固定夹紧工装、第三固定夹紧工装和第四固定夹紧工装分别设置在砂轮片的两侧。
3.如权利要求2所述的单/多晶硅棒切割机,其特征在于,冷却系统包括用以向砂轮片喷水降温的喷嘴,喷嘴的喷头方向朝向砂轮片。
4.如权利要求1所述的单/多晶硅棒切割机,其特征在于,在台面上还设有C型防尘罩,该防尘罩的两侧各开有一通孔。
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