[实用新型]镀膜机真空室壁的水冷夹层结构

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀模技术领域，具体地说是一种对物体表面进行镀模技术处理的镀膜机真空室壁的水冷夹层结构。

背景技术

众所周知，真空镀膜技术是用来对物件外表面进行加工成膜的技术。真空镀膜机在工作时，有时按工艺要求，需在真空室内加热，同时镀膜源在工作时也耗散大量热能，使真空室壁温度升高，为了保护真空室上的密封元件，绝缘元件不受损坏以及避免工作人员被意外烫伤，除在真空室内采取隔热措施外，真空室外还必需通水冷却。

传统的通水冷却方式有两种：

一种是双层室壁：真空室壁由双层不锈钢板嵌套组成，两层壁之间为水冷夹层；而另一种是水冷槽道：真空室壁由较厚的不锈钢板焊成，真空室壁外部焊装U型槽道，槽道内通冷却水。

以上两种冷却方式并行使用了多年，冷却效果尚佳，但都有许多不足之处：

对于双层室壁的主要缺点是：内层室壁的焊缝直接接触冷却水，

其后果是：

1、如果焊接有漏点，在抽空调试时很难找到漏点，也很难补焊。

2、即使是完好的焊缝，在水的长期浸润下也很快会产生腐蚀，很难修复，缩短真空室使用寿命。

3、除法兰管处之外，内外壁之间大部分区域没有机械连接，整体刚度、强度不强，内外壁都需要用较厚的钢板制造。

而对于述水冷槽道的主要缺点是：

1、水冷槽道对整个强度的贡献较小，真空室壁需用较厚钢板制造。

2、焊接工作量异常大，电力消耗大，焊接污染大。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种钢板上均布有凹窝并以之固定连接在真空镀膜机的真空室壁外侧而形成水冷夹层的镀膜机真空室壁的水冷夹层结构。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括有真空室壁，其特征是：真空室外壁置有一形成水冷夹层的钢板，在钢板上均匀分布有凹窝，凹窝底部与真空室外壁固定连接。

本实用新型的凹窝状水冷夹层结构，经生产实践证明其具有如下优点：

1.增强真空室整体刚度，可减少钢板厚度，减少材料消耗；

2.水冷夹层可灵活避开真空室壁焊缝，避免焊缝腐蚀，延长真空室使用寿命。同时又便于检漏和补焊；

3.由于凹窝的导流作用，冷却均匀；

4.本新型还具有外形美观，可根据凹窝的分布形成图案，而且结构简单合理；

综合上述，凹窝状水冷夹层结构相对其它结构而言，减少材料消耗，能源消耗，适应当前节能，降耗，减排的大方向，具有明显的经济效益和社会效益。

附图说明

图1是本实用新型的局剖结构示意简图；

图2是图1中的局剖立体结构示意简图；

图3是本实用新型设置在具体真空镀膜机上的立体使用状态简图。

下面将结合附图通过实例对本实用新型作进一步详细说明，但下述的实例仅仅是本实用新型其中的例子而已，并不代表本实用新型所限定的权利保护范围，本实用新型的权利保护范围以权利要求书为准。

具体实施方式

实例1

如图1～2所示，图中的1为真空镀膜机上的真空室壁，在该真空室壁1的外侧室壁上设置有一形成水冷夹层4的钢板2，在钢板2上均匀分布有经冲压拉伸的凹窝3，该凹窝底部通过焊装与真空室外壁固定连接而形成水冷夹层4。图中的5为焊点。

本实用新型的凹窝结构为在钢板上进行冲压拉伸；每个凹窝间要布局均匀，布列应考虑板受力变形时对各部拉力的要求，凹窝形状为圆形、长方形、圆头三角形、人字形、梅花瓣形状结构或相关形状结构。

由图3所示，为本实用新型具体应用的真空镀膜机立体状态简图，本实用新型主要是针对真空室的双层水冷板的外冷板，真空室在工作中受大气压的挤压而变形，在一个工作循环完成后又再恢复常态中而将变形释放，如此交替蠕变，对真空室的刚性有很高的要求；本实用新型可以极大地提高真空室的刚性，同时由于凹窝间的阻扰，可以使冷却水在流淌中更均匀的流过各冷却的表面，本结构实用性强，外形美观，已在我们的实践中得到了成功的应用。