[实用新型]一种高速控制压电扫描装置有效
申请号: | 200920289347.7 | 申请日: | 2009-12-18 |
公开(公告)号: | CN201569787U | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 吴鑫;陈四海;熊小刚;石本义;陈巍 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G02B7/198 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高速 控制 压电 扫描 装置 | ||
1.一种高速控制压电扫描装置,其特征在于,该装置的结构为:半导体激光器(3)固定于激光器固定环(2)中,激光器固定环(2)栓接在主固定座(1)上部的水平导轨中;主反射镜(5)粘结在弹性铰链支架(6)的顶部平面上,弹性铰链支架(6)为对称结构、分别栓接在两个椭圆型弹性外框(4a,4b)的一侧,压电致动器(7a,7b)通过预紧力内嵌于椭圆型弹性外框(4a,4b)内,椭圆型弹性外框(4a,4b)的另一侧固定在主固定座(1)上;两个增程反射镜(9a,9b)分别粘结在两个增程反射镜凹形固定平板(8a,8b)的凹形腔内,两个增程反射镜凹形固定平板(8a,8b)栓接在两个不对称的工字型梁(10、12)的两端,工字型梁(10,11)分别固定在U型固定支架(12)两臂导轨内,U型固定支架(12)通过自身的螺孔栓接在主固定座(1)下部的垂直导轨内;L型固定支架(13)栓接在U型固定支架(12)的导轨内,位敏探测器座(14)固定于L型固定支架(13)的上,位敏探测器(15)栓接在位敏探测器座(14)上。
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