[实用新型]硅棒拉制用子晶夹头无效
申请号: | 200920291112.1 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN201620205U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213213 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拉制 用子晶 夹头 | ||
【权利要求书】:
1.一种硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)为同轴孔系,多棱台孔(22)的锥角为90°~150°,且多棱台孔(22)的上口大于下口。
2.根据权利要求1所述硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:所述多棱台孔(22)为四棱以上正多棱锥孔,其锥角为120°。
3.根据权利要求2所述硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:所述多棱台孔(22)为正四棱台孔。
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