[实用新型]电镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电镀设备，特别涉及一种可隔离当作用于阴极表面的大分子光泽剂移动到不溶性阳极附近，被不溶性阳极表面因电解水产生的氧气或臭氧所裂解变成不良硫化物，又移动到阴极表面共析在镀层时的电镀设备。

背景技术

在印刷电路板的电镀设备中，电镀阳极可分为可溶性阳极及不溶性阳极。可溶性阳极是以钛篮装磷铜块，其中数个钛篮分别放置于电镀槽内两侧，阴极放置于两个对应钛篮之间，当电镀槽加入电镀液并对阴阳极通电后，磷铜块解离出铜离子，并在阴极上还原出铜。

但是，在电镀过程中因磷铜块溶解不断解离出铜离子而使得体积及面积逐渐缩小未能填满钛篮，且每个磷铜块的解离速度不一，磷铜块补充也不能随时密集作业，此都造成不同的电流分布，使电场分布不均，因此会影响电镀层厚度的均匀性。若电镀层厚度不均匀，对之后的处理会有不利影响(譬如在之后的蚀刻处理中，会产生过大侧蚀的问题)。且磷铜块溶解过程中会产生铜泥，每隔一段时间必须更换电镀槽液取出铜泥，增加非常多不便。

另一种为不溶性阳极是以钛或钛合金做阳极，铜离子由电镀槽外的铜盐溶解槽供应，铜离子的来源可为氧化铜粉末在铜盐溶解槽中溶解而得。不溶性阳极做成网状平板，除可避免不规则几何表面造成电场边缘效应分布不均外，不溶性阳极本身不参与铜金属的溶解，其作用仅控制电流在阴极表面上的分布均匀。因此不溶性阳极的电流分布及电场分布相对于可溶性阳极显现相当均匀，而在与不溶性阳极平行的阴极的表面可产生更均匀的电镀层。

然而，在使用不溶性阳极的电镀处理中，在不溶性阳极表面因不溶性阳极电解水而产生大量的氧气或臭氧，而电镀液的光泽剂通常含有一种具有不饱和键的硫化物(譬如二硫二异丙磺酸钠盐)，当氧气或臭氧接触到此光泽剂时，氧气或臭氧会裂解光泽剂而产生不良硫化物并污染电镀液。因此，氧气或臭氧除会消耗光泽剂外，光泽剂裂解后的不良硫化物会共析在阴极(即印刷电路板)上已还原的铜结晶之间，此含有硫化物的铜层较硬脆、延展性及焊锡性不佳等缺点。

为了降低上述的缺失，在一已知的解决方法中，是不断补充光泽剂至电镀液中，且每隔一段时间替换整槽的电镀液，然而，除了使光泽剂及电镀液的成本大为提高外，也将增加工时及产生处理大量废液的环保问题。

在另一已知的解决方法中，是在不溶性阳极与阴极间设置电透析膜(或称离子选择膜)，电透析膜只允许体积较小的阴离子通过，而阻止较大的阳离子或是其它大分子通过，由此可避免氧气或臭氧消耗光泽剂及侵害还原出的铜层，然而，电透析膜的价格十分高昂，将使镀铜制造成本大幅增加。

因此，有必要提供一种电镀设备，以改善先前技术所存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种可避免阳极产生的氧化物裂解光泽剂并避免所产生不良硫化物共析在阴极板上的电镀设备。

为达到上述的目的，本实用新型提供一种电镀设备，包括电镀槽、至少一不溶性阳极及至少一阳极隔膜、阴极。其中电镀槽用以放置电镀液。不溶性阳极设置于电镀槽中，并浸置于该电镀液。阳极隔膜，设置于该阴极及该不溶性阳极之间，并浸置于该电镀液。当进行电镀处理时，阳极隔膜是用以实质上阻挡大分子光泽剂自阴极移动至不溶性阳极。

在本实用新型的一实施例中，阳极隔膜具有多孔结构，多孔结构包括数个孔。该数个孔的阳极隔膜用以实质上隔离电镀液中大分子相互流通，小分子或阳离子仍能相互流通，达成电镀作业。

本实用新型所述的电镀设备中的阳极隔膜的多孔结构的数个孔的尺寸小于电镀处理过程中阳极上产生的氧气、臭氧或随之而产生的不良硫化物等分子的尺寸，所以通过使用本实用新型的电镀设备，可避免不溶性阳极在反应时产生的氧气或臭氧及在阳极区内的不良硫化物进入阴极区而污染电镀液并破坏还原在阴极上的金属。

由于本实用新型所述的电镀设备构造新颖，能提供产业上利用，且确有增进功效，故依法申请新型专利。

附图说明

图1为关于本实用新型的电镀设备的一实施例的局部剖视图。

图2为关于本实用新型的电镀设备的一实施例的另一角度的局部剖视图。

图3为关于本实用新型的电镀设备中数个孔阻挡大分子通过的一实施例的放大示意图。

【主要组件符号说明】

电镀设备1           电镀槽10

电镀液11            阳极区12

阴极区13            阳极隔膜插座14

溢流口15            不溶性阳极20

不溶性阳极夹具21    阳极杆22

阴极30              阳极隔膜40