[实用新型]具有复向喷洗机构的基板湿制程装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，尤其涉及一种应用在多层印刷电路板、液晶显示器面板、薄膜太阳能电池及触控面板等电子产品的基板湿制程设备。

背景技术

现有多层印刷电路板、液晶显示器面板、薄膜太阳能电池及触控面板等电子产品的基板湿式清洗设备，如图1及图2所示，在一机台10上方设置有一摆动机构20，并在摆动机构20结合有多数组喷洗装置30及一驱动装置40，使摆动机构20可以在机台10上直线往复运动。其中，该摆动机构20，在机台10内侧面固设有复数组轴承座201，相互对应的轴承座201之间枢设一轴杆202，轴杆202的一端以一横梁203跨接结合，该横梁203再结合有一框架204，故可借由驱动装置40带动框架204而使摆动机构20呈直线往返运动，进一步使喷洗装置30针对输入机台10内的基板施行清洗。但，上述现有的摆动机构20只能被驱动装置40带动作直线往返运动，为了能全面清洗基板，必需在摆动机构20上结合有多数组排列的喷洗装置30，再分别接上水阀301、水管302等组件，如此导致结构繁琐、维护工作麻烦、成本增加。因此，如何发明出一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，以使复向喷洗机构可以产生直线往复移动及往复滚转运动，因而能够针对各种电子产品的基板进行多向全面清洗，将是本实用新型所欲积极提供之处。

发明内容

有鉴于上述现有技术的缺憾，发明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，凭其从事该项产业多年的累积经验，进而研发出一种具有复向 喷洗机构的基板湿制程装置，以期达到制程设备结构精简、可调整喷洗角度与速率及多向全面清洗的目的。

本实用新型的主要目的在提供一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，其借着一机台、一喷洗机构、一滚转驱动装置及一直线驱动装置的结构设计，组成具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，致使喷洗机构可以被直线驱动装置带动直线往复移动，同时被滚转驱动装置带动往复滚转运动，借此使喷洗机构针对输入机台的基板进行喷洗作业，进而达到制程设备结构精简、可调整喷洗角度与速率，及多向全面清洗的目的。

本实用新型的次要目的在提供一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，其借着滚转驱动装置结构改良，致使滚转驱动装置只要一驱动马达通过一传动轴就可以带动多组喷洗机构，达到制程设备结构精简、设备成本降低的目的。

本实用新型的另一目的在提供一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，其借着滚转驱动装置结构改良，致使滚转驱动装置可以与喷洗机构同步直线往复移动，并由滚转驱动装置同时带动喷洗机构呈现往复滚转运动。

为达上述目的，本实用新型的实施内容包含有：一机台、两组以上结合在机台上的喷洗机构、一带动喷洗机构的滚转驱动装置、及一带动喷洗机构的直线驱动装置，其特征在于：各该喷洗机构具有一结合在机台一侧的第一轴承座、一结合在机台另一侧的第二轴承座、及一结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路，该管路的管身结合有一个以上的喷嘴；该滚转驱动装置具有一驱动马达、一被驱动马达带动的传动轴、及分别对应各喷洗机构而结合在传动轴及管路前端的驱动轮组，各驱动轮组包含一结合在传动轴的主驱动组件，及一结合在喷洗机构管路前端的从驱动组件。另外，本实用新型该喷洗机构管路的前端可结合有一延伸到机台外侧的移动座，该滚转驱动装置结合在移动座上，使滚转驱动装置同步直线往复移动。

借此，本实用新型一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，可经由直线驱动装置带动喷洗机构的管路呈直线往复移动，同时借滚转驱动装置带动喷洗机构的管路呈往复滚转运动，因此当输入清洗液进入该管路之后，即可经由管路的多数个喷嘴针对输入机台的基板进行多面向的清洗作业，进而达 到制程设备结构精简、设备成本降低、可调整喷洗角度与速率、及多向全面清洗的功效。

附图说明

图1为现有基板清洗设备的立体图。

图2为现有基板清洗设备的俯视图。

图3为本实用新型较佳具体实施例的立体图。

图4为本实用新型较佳具体实施例的放大示意图。

图5为本实用新型另一较佳具体实施例的立体图。

图6为本实用新型另一较佳具体实施例的放大示意图。

图7为本实用新型较佳具体实施例的应用状态示意图。

【主要组件符号说明】

1......机台

11.....固定座

12.....移动座

13.....马达座

2......喷洗机构

21.....第一轴承座

22.....第二轴承座