[实用新型]一种用于刻膜机的复合吸尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于刻膜机加工非晶硅太阳能电池板工作过程中的吸尘技术领域，尤其涉及一种用于刻膜机的复合吸尘装置。

背景技术

非晶硅太阳能电池板生产流程涉及到底层电极、中间光伏效应层和表面欧姆接触电极层的薄膜沉积以及各层的刻划。激光刻划技术相比传统的掩模法具有更高的生产效率以及稳定的产品质量，已经较好地应用于太阳能电池的制造工艺流程中。然而，在刻膜机激光刻划非晶硅电池的过程中，容易产生大量微小的粉尘，并且大部分的粉尘不能到达除尘系统，除尘系统除尘效率低，使得产生的粉尘污染空气，给操作人员带来不便，也会污染工作台或者非晶硅电池，给设备维修或者电池的生产带来不便。传统的吸尘技术采用抽风直吸方式，能够吸掉大部分尘粒，仍有部分尘粒不能被吸走；存在的缺陷为：部分超轻尘粒仍悬浮于空气中，还有一部分超重尘粒会随重力落到电池板上，导致吸尘不全面，效果不理想；且非晶硅薄膜太阳能电池在激光加工过程中会产生大量粉尘，若清除不完全，粉尘就会附着在电池板表面上，可能造成微断路，影响电池板的电气性能。

实用新型内容

本实用新型针对现有非晶硅太阳能电池板生产存在的上述不足，提供一种用于刻膜机的复合吸尘装置。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，包括设置在刻膜机工作台固定座上的固定吸尘箱，其特点在于，所述的固定吸尘箱上部的刻膜机工作台固定座上还设有随动吸尘箱，固定吸尘箱下部设有固定吸尘箱吸尘口，随动吸尘箱上设有随动吸尘箱吸尘口。

所述的固定吸尘箱下部还设有离子棒，离子棒上设有电极针。所述的随动吸尘箱通过连接板与随动吸尘运动工作台相连，随动吸尘运动工作台通过随动吸尘运动固定座与刻膜机工作台固定座相连，随动吸尘运动固定座内设有传动丝杠和电机。

所述的随动吸尘箱吸尘口包括第一吸尘口和第二吸尘口。所述的第二吸尘口通过固定块安装在连接板上，第二吸尘口对应设在刻膜机工作台上的激光光束正上方。所述的第一吸尘口与刻膜机工作台上的激光光束对应设置，第一吸尘口和第二吸尘口的数量与刻膜机工作台上的激光光束数量相等。所述的固定吸尘箱吸尘口为长方形结构。

本实用新型的有益效果是：所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其通过固定吸尘箱和随动吸尘箱的复合，实现了刻膜机在加工非晶硅太阳能电池生产过程中产生的大部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘的效率。

附图说明

图1为本实用新型结构原理示意图；

图2为本实用新型图1的中固定吸尘箱和随动吸尘箱安装结构示意图；

图3为本实用新型图2的中固定吸尘箱的端面结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

图1、2、3所示，所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，包括设置在刻膜机工作台固定座1上的固定吸尘箱7，其特点在于，所述的固定吸尘箱7上部的刻膜机工作台固定座1上还设有随动吸尘箱2，固定吸尘箱7下部设有固定吸尘箱吸尘口15，随动吸尘箱2上设有随动吸尘箱吸尘口。

所述的固定吸尘箱7下部还设有离子棒14，离子棒14上设有电极针。所述的随动吸尘箱2通过连接板11与随动吸尘运动工作台13相连，随动吸尘运动工作台13通过随动吸尘运动固定座10与刻膜机工作台固定座1相连，随动吸尘运动固定座10内设有传动丝杠9和电机8。

所述的随动吸尘箱吸尘口包括第一吸尘口3和第二吸尘口4。所述的第二吸尘口4通过固定块12安装在连接板11上，第二吸尘口4对应设在刻膜机工作台上的激光光束5正上方。所述的第一吸尘口3与刻膜机工作台上的激光光束5对应设置，第一吸尘口3和第二吸尘口4的数量与刻膜机工作台上的激光光束5数量相等。所述的固定吸尘箱吸尘口15为长方形结构。

采用上述结构，便可以实现刻膜机在加工工件6时产生的大部分粉尘吸收。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。