[实用新型]硅片线切割机的减震与自动张紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片线切割机，具体的说是一种用于硅片线切割机的减震与自动张紧装置。

背景技术

硅片线切割机主要用于多、单晶硅棒、锭切片，而切割成型的精度直接关系到产品的品质，而电机运转振动影响切割精度的问题一直未能很好解决。目前线切割机生产中电机的都是通过电机吊篮固定在切割工作台的下方，电机向主动辊轮传递动力，是唯一与切割结构和机体相连接的震动和噪声源。通过传动带将电机轴与主动辊轮轴连接，切割时电机传动轮带动传动带，电机本身的振动影响到了通过传动带相连接的主动辊轮，从而影响到了切割的精度，造成切片厚度不均匀，所以解决电机运转的振动及噪声对切片精度、质量的不利影响，也是提高线切割机切割精度的一大关键。

实用新型内容

本实用新型的目的是为防止、减小电机的振动和噪声对切片的精度和质量造成的不利影响，提高线切割机的切割精度，从而提供一种结构紧凑、效果好、成本低的减震与自动张紧装置。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：硅片线切割机的减震与自动张紧装置，包括平台、框架和传动带，在辊轮两端的框架上，设有一个电机吊篮，电机吊篮内设有一个电机，电机传动轮与辊轮传动轮间设有传动带，电机设置在一个倾斜的底板上，底板的一端与电机吊篮底板连接，另一端悬空，在电机吊篮的底部设有一个弹性机构，弹性机构中的弹簧轴与底板连接。

本实用新型，所述的弹性机构由弹簧轴、压缩弹簧、固定挡圈组成，在底板上设有弹簧轴，弹簧轴穿过电机吊篮底板，在弹簧轴顶端设有一个固定挡圈，压缩弹簧设置在电机吊篮底板与固定挡圈之间的弹簧轴上。

本实用新型，电机设置在底板上，电机是一种调频电机。传动带设置在主动辊轮轴与电机轴之间，传动带是一种电机用的柔性传动带，因其本身具有一定的柔性所以也起到了一定的减震作用，传动带通过电机轴上的电机传动轮将电机的传动轮端吊起，传动带对电机提供拉力，并且传动带可以通过弹性机构减震和自动张紧；底板与电机吊篮底板之间设有间隙，底板与电机连接是为了给电机提供一个除了传动带拉力以外的支撑力，底板一端采用支撑轴与电机吊篮底板连接，支撑轴外层套装橡胶减震套。

所述的弹簧轴可以采用一种带螺纹的螺栓，弹簧轴穿过电机吊篮底板固定在底板上，是为了让弹簧轴更好的与电机一起振动，在弹簧轴上安装压缩弹簧，压缩弹簧上端面经橡胶减震垫顶紧在电机吊篮底边上，压缩弹簧下端面通过橡胶减震垫，固定挡圈和螺母固定，并可通过螺母调节弹簧的压缩强度；固定挡圈是为了更好的限制压缩弹簧的伸缩区域，使压缩弹簧可以对弹簧轴的上下移动形成有效阻力缓冲电机振动幅度，在压缩弹簧两端设有橡胶减震垫是为了使压缩弹簧的端点受力更均匀。

有益效果：

电机与底板固定，底板和电机吊篮底板支承轴连接，这样底板形成稍微倾斜角度，支承轴上套装橡胶减震套可以对电机起到的初步减震作用；通过弹簧轴固定在底板，弹簧轴能更好的承受到电机的振动，弹簧轴随电机振动向上移动，则固定挡圈向电机吊篮底板方向挤压压缩弹簧，压缩弹簧的阻力减缓了弹簧轴向上移动，电机底板的震动和噪声经过橡胶减震垫及压缩弹簧吸收而大为减弱，从而降低了线切割时候电机的振动幅度影响；余量的震动和噪声，经电机吊篮与框架连接固定处的橡胶减震模块，以及柔性传动带的进一步吸收而衰减，压缩弹簧阻力与传动带的拉力维持了电机的平衡，使电机的平稳性更好；同时，传动带经一段时间运转后会受力松弛，在未运转前给压缩弹簧施加的一定预压缩力，预压缩力的释放使底板与电机吊篮底板形成的夹角变小，达到传动带自动张紧的效果，使得动力的传输更加有效，设备运转的平稳性更好；本实用新型成本低，结构紧凑易安装，减震效果自动张紧功能好，提高了线切割精度，切割厚度误差小于5μm。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中标记是：1、电机，2、电机吊篮，3、传动带，4、电机传动轮，5、底板，6、平台，7、电机吊篮底板，8、支承轴，9、弹簧轴，10、固定挡圈，11、压缩弹簧，12、橡胶减震垫，13、框架，14、辊轮，15、辊轮传动轮，16、螺母。

具体实施方式