[实用新型]一种硅片线切割机的辊轮支撑机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及线切割机领域，具体的说是一种硅片线切割机的辊轮支撑机构。

背景技术

目前，市场上销售的硅片线切割机承载和支撑机构，是固定于机身内侧的矩形框架结构；两个刻有螺旋槽直径达200mm的切割辊轮平行对应安装其中，每个重达百余公斤的放线辊上轮和收线辊轮置于其右后侧，其存在的不足是：其一、结构粗大笨重，导致切割和收、放线辊轮装配、装卸、更换、调整，即使使用专门的起重工具亦较困难；体积、重量较大，不仅增加了制造成本，而且也增加了运转时的动力消耗；其二，其采用的支撑机构稳定效果较差，从而使得在线切割过程中易产生轻微颤动，影响切割精度；其三，由于该辊轮在转动过程中无辅助导向机构，因此在运作过程中，辊轮转动精度不高，造成切片的厚薄不一，产品与所定值误差较大，从而使得整体的产品质量下降。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片线切割机的辊轮支撑机构，它不仅安装灵活方便，重量较轻，而且将大大提高了线切割机的切割精度。

本实用新型为解决上述技术问题的不足而采用的技术方案是：一种硅片线切割机的辊轮支撑机构，主要由固定端板、连接杆、主动辊轮导轨和从动辊轮导轨组成，固定端板为一个三角形的整板，由四个连接杆将独立的左右端板固定于主动辊轮和从动辊轮的两端，并使左右端板与辊轮连接为一个整体，其中的两个连接杆为中空结构，在主动辊轮的一端设有主动辊轮导轨，在从动辊轮的一端设有从动辊轮导轨。

本实用新型的有益效果是：首先，该辊轮支撑机构自重大为减轻，其加上辊轮的重量不到上述机型辊轮支撑机构的1/20，减少了制造成本和运转动力消耗；由4根连接杆将左右端板与辊轮将辊轮支撑机构连接为一个组合整体，便于从固定框架取出布置新线和取出、回收磨光的基线；端板上的主动辊轮导轨和从动辊轮导轨安装孔，可供安装相应的辊轮导轨，能有效防止各辊轮的轴向位移和径向跳动，为切片精度和质量提供了保证，采取以上措施使得带有该支撑机构的线切割机切出的硅片表面薄厚误差仅为5μm。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的A-A向剖视图。

图中标记：1、固定端板，2、主动辊轮，3、从动辊轮，4、切割线，5、连接杆，6、螺母，7、主动辊轮导轨，8、从动辊轮导轨。

具体实施方式

如图1和图2所示，一种硅片线切割机的辊轮支撑机构，主要由固定端板1、连接杆5、主动辊轮导轨7和从动辊轮导轨8组成，固定端板1为一个三角形的整板，由四个连接杆5将独立的左右端板固定于主动辊轮2和从动辊轮3的两端，并使左右端板与辊轮连接为一个整体，其中的两个连接杆5为中空结构，在主动辊轮2的一端设有主动辊轮导轨7，在从动辊轮3的一端设有从动辊轮导轨8。

本实用新型，所述的主动辊轮2和从动辊轮3上设有切割线4。

本实用新型，所述的从动辊轮3设置为两个，主动辊轮2和从动辊轮3呈等边三角形布置，而且两个从动辊轮呈水平方向设置在固定端板1之间。

所述的主动辊轮导轨7和从动辊轮导轨8分别与固定端板1连接，并与其相应的辊轮导轨槽紧密吻合，有效防止主动辊轮和从动辊轮的轴向位移和径向跳动，保证了切片的质量和精度。

本实用新型，所述的固定端板1之间设有四个连接杆5，连接杆5依靠螺母6将固定端板1固定，其中两个连接杆为中空结构，其上设有孔，其作用为：在切割过程中，冷却液从连接杆的孔处喷出，用于冷却切割线4。

所述的主动辊轮导轨7设置在主动辊轮2的一端，与其相应的辊轮导轨槽紧密吻合，因此，主动辊轮2在电机带动下，沿主动辊轮导轨7运动，有效防止主动辊轮2的轴向位移和径向跳动，为切片的精度提供了保证，从动辊轮导轨8设置在从动辊轮3的一端，与其相应的辊轮导轨槽紧密吻合，防止从动辊轮3的轴向位移和径向跳动，同样保证了切片的质量。

本实用新型，将带有切割线的辊轮设置在固定端板之间，由四个连接杆将独立的左右端板固定于主动辊轮和从动辊轮的两端，并使左右端板与辊轮连接为一个整体，因此，该支撑机构在动作运行中比较稳定；其次，该支撑机构上设有主动辊轮导轨和从动辊轮导轨，从而主动辊轮在电机带动下，沿主动辊轮导轨运动，有效防止主动辊轮的轴向位移和径向跳动，为切片的精度提供了保证；从动辊轮沿从动辊轮导轨运动同样保证了切片的质量。采取以上措施使得带有该支撑机构的线切割机切出的硅片表面薄厚误差仅为5μm。因此，本次技术革新将为企业带来更多效益，值得在市场上推广应用。