[实用新型]硅片线切割机的升降机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片线切割机，具体的说是一种用于切割晶体硅片的线切割机的升降机构。

背景技术

随着世界可再生、清洁、无污染的新能源战略蓬勃兴起，太阳能光伏电池发电项目发展迅猛。晶体硅无论是用于电子产业还是光伏产业，其终端产品应用和计价均是以面积为单位，即其产品使用形态是薄片状。因此，切片精度和质量是关键。目前，国内主要厂商使用的线切割机存在许多不尽如人意之处，如该机切割线切割晶体硅棒、锭的升降机构，是以固定晶体硅棒、锭的装置作为动件，随着切割的进行其力臂伸出机体的长度不断变化，在无任何强制性防护措施下，机器运转产生的震动，会使切割偏差随之亦发生不断变化，这势必会影响设备的切割精度和切片质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片线切割机的升降机构，能平稳升降，提高切割精度和切片质量。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：硅片线切割机的升降机构，主要由固定框架、导轨和液压缸组成，两个固定框架相对设置，并通过连接杆连接为一个整体，每个固定框架上均垂直设有导轨槽，每个导轨槽与一个导轨对应，导轨槽的凹陷部与对应的导轨的凸出部形状相吻合，液压缸上的活塞与框架下部连接。

所述的液压缸也可以用气压缸代替。

所述的导轨槽，其横断面为V形、燕尾形、矩形或圆弧形。

本实用新型的有益效果是：本技术方案中，升降机构带动线切割总成平稳升降，切割线对晶体硅棒、锭切割时，切割机构是动件，切割前、后其升降轨迹，完全受固定框架两侧的导轨控制，不因支撑切割机构的力臂(对技术方案而言是活塞)长短变化而出现切割偏差，提高了切割精度和切片质量，可以保证制造误差不大于2μm，在其作用下，切出的硅片表面薄厚误差仅为正负5μm。切片工作开始后，升降机构的下降和线切割总成的切割线对晶体硅棒、锭的切入压力，是利用升降机构和固定于其上的切割总成等自身的重力而实现的，从而降低了能耗。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

图中标记：1、线切割总成，2、导轨，3、固定框架，4、导轨槽，5、液压缸，6、活塞，7、连接杆，8、机座。

具体实施方式

如图所示，硅片线切割机的升降机构，主要由固定框架3、导轨2和液压缸5组成，两个固定框架3相对设置在线切割总成1左右两侧，并通过连接杆7连接为一个整体。每个固定框架3上均垂直设有导轨槽4，每个导轨槽4与一个导轨2对应，导轨槽4的凹陷部与对应的导轨2的凸出部形状相吻合。

固定框架3用于固定线切割总成1，两个固定框架3通过四根连接杆7连接为一个整体。在每个固定框架3的外侧端面上可以设置两个导轨槽4，设置位置为固定框架3的两端。四个与导轨槽4配合的导轨2设置在线切割机的机座8上，将固定框架3和线切割总成1夹在中间。液压缸5上的活塞6与固定框架3下部连接，通过液压系统提供的动力，活塞6可以将整个机构，包括线切割总成1升起，下降时打开液压系统的旁路阀卸压，在切割进程中利用升降机构自身的重力下降。

所述的液压缸5也可以由气压缸代替。

所述的导轨槽4，其横断面为V形、燕尾形、矩形或圆弧形。每个导轨的形状分别与相应的导轨槽匹配。