[实用新型]硅片线切割机的切割总成

权利要求书

1.硅片线切割机的切割总成，主要由主动辊轮(1)、从动辊轮(2)、端板(4)和切割线(3)构成，主动辊轮(1)和从动辊轮(2)由端板(4)支撑，其特征在于：主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上分别分布有各自独立的线槽(5)，线槽(5)呈绕辊轮一周的环形，主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上的线槽数相等，切割线(3)绕设在主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上的线槽(5)内，所述的切割线(3)为环状，其数量与主动辊轮(1)的线槽数量相等。

2.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：设有一个主动辊轮(1)和两个从动辊轮(2)，主动辊轮(1)和两个从动辊轮(2)成三角形布置。

3.根据权利要求1或2所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上设有同步带轮(10)。

4.根据权利要求1或2所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上均设有导轨槽(7)。

5.根据权利要求4所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的导轨槽(7)，其横断面为V形、矩形、燕尾形或圆弧形。

6.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的切割线(3)设置在主动辊轮(1)与从动辊轮(2)上的位置相对应的线槽(5)内。

7.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的端板(4)上设有与主动辊轮(1)平行的连接杆(9)，连接杆(9)为中空结构并设有喷水孔。

8.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的线槽(5)，其槽宽为0.09～0.16mm。

9.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：所述的线槽(5)，其槽深为0.15-0.25mm。

10.根据权利要求1所述的硅片线切割机的切割总成，其特征在于：任意两个相邻线槽(5)之间的间距相等，为0.15～0.25mm。