[实用新型]扭转梁电容式射频微机械开关

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电容式射频微机械开关。

背景技术

目前，电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关的驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种扭转梁电容式射频微机械开关，以解决现有电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V的问题。

本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是：所述机械开关包括衬底、第一绝缘介质层、多个信号输出线、锚和上电极；所述机械开关还包括悬臂梁，所述衬底的上端面与第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，每个信号输出线的上端面与锚的下端面连接，所述悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁构成，所述挠度悬臂梁的一端固定在锚上，所述挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接。

本实用新型具有以下有益效果：本实用新型的悬臂梁采用挠度悬臂梁和扭转悬臂梁，不仅利用了悬臂梁的挠度，还利用悬臂梁的扭转效应，从而有效降低了电容式射频微机械开关的驱动电压，在当前加工工艺条件下，占用同样面积的条件基于扭转的RF-MEMS开关比传统RF-MEMS开关的驱动电压下降了30％。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图，图2是图1的A-A剖视图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1说明本实施方式，本实施方式的机械开关包括衬底1、第一绝缘介质层2、多个信号输出线3、锚5和上电极6；所述机械开关还包括悬臂梁7，所述衬底1的上端面与第一绝缘介质层2的下端面连接，第一绝缘介质层2的上端面分别与多个信号输出线3连接，每个信号输出线3的上端面与锚5的下端面连接，所述悬臂梁7由制成一体的挠度悬臂梁7-1和扭转悬臂梁7-2构成，所述挠度悬臂梁7-1的一端固定在锚5上，所述挠度悬臂梁7-1的另一端与上电极6的下端面连接。

具体实施方式二：结合图1说明本实施方式，所述机械开关还包括第二绝缘介质层4，每个信号输出线3的上端面设有第二绝缘介质层4。此种连接方式的优点是绝缘性能安全可靠。其他组成及连接关系与具体实施方式一相同。