[实用新型]真空排气机

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及一种真空排气机

(二)背景技术

现有的灯泡抽真空用的真空排气机冷却管道下面的工位连接管道连接高真空挡板阀再通过接头直接与金属油扩散泵相连，参照附图2，这样的设备抽真空时间长、效率低、能耗高，不利于提高效率、节约能源。

(三)发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种带有高真空储气桶的抽真空时间短、效率高、能耗低的真空排气机。

本实用新型的技术方案是：真空排气机，包括高真空挡板阀、接头、金属油扩散泵或分子泵、工位连接管道、冷却管道，其特征在于，还有高真空储气桶，高真空挡板阀分别通过接头与高真空储气桶连接，高真空储气桶与金属油扩散泵或分子泵相连。

本实用新型的另一技术方案是：真空排气机包括两个高真空挡板阀、两个接头、一个金属油扩散泵或分子泵、两个工位连接管道、两个冷却管道，其特征在于，还有一个高真空储气桶，两个高真空挡板阀分别通过接头与这个高真空储气桶连接，高真空储气桶与一个金属油扩散泵或分子泵相连。

当然，也可以用一个真空储气桶和金属油扩散泵或分子泵与一套高真空挡板阀、工作连接管道、冷却管道组成的系统相连，但用一个真空储气桶和金属油扩散泵或分子泵与两套高真空挡板阀、工作连接管道、冷却管道组成的系统相连，可以节约材料，提高抽真空速度。

(四)附图说明

在高真空挡板阀和金属油扩散泵或分子泵之间连接有高真空储气桶，可以在任何时间让金属油扩散泵或分子泵把高真空储气桶抽真空，使得工作时工位上抽真空时间短、效率高、能耗低。

附图1为本实用新型示意图

(五)具体实施方式

附图2为现有设备示意图

参照附图1：

实施例一：真空排气机包括两个高真空挡板阀1、两个接头3、一个金属油扩散泵或分子泵4、两个工位连接管道5、两个冷却管道6，其特征在于，还有一个高真空储气桶2，两个高真空挡板阀1分别通过接头3与这个高真空储气桶2连接，高真空储气桶2与一个金属油扩散泵4相连。

实施例二：真空排气机包括两个高真空挡板阀1、两个接头3、一个金属油扩散泵或分子泵4、两个工位连接管道5、两个冷却管道6，其特征在于，还有一个高真空储气桶2，两个高真空挡板阀1分别通过接头3与这个高真空储气桶2连接，高真空储气桶2与一个分子泵4相连。