[实用新型]多晶硅定向结晶炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅定向结晶炉。

背景技术

传统的多晶硅结晶炉基本上采用焦炭结晶炉，它采用焦炭作为发热元件，不仅对环境污染大、温度难以控制、保温精确度低、成品率低、生产效率低、能耗高、成本高，而且操作不方便，操作过程中容易危及人身安全。因此，利用电力发热来替代传统的焦炭发热是一种必然的趋势，但目前已有的电阻炉只能采用电炉丝作为发热元件，由于电炉丝发热的温度低，最多只能达到1000度，因此不能适应多晶硅精练提纯工艺所需要的高温环境要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅定向结晶炉，它一方面采用硅钼棒作为发热元件，适应了多晶硅精练提纯工艺所需要的高温环境要求，另一方面解决了硅钼棒作为发热元件与电导线进行连接所存在的触点接触不良问题，使两者既能实现稳定连接，又不易损坏，从而确保了结晶炉的正常稳定工作，有利于提高生产效率和结晶成品率。

本实用新型内容是这样构成的，一种多晶硅定向结晶炉，它包括炉体和炉盖，其特征在于：在炉体的炉膛四周安装有硅钼棒，硅钼棒的电流输入端和输出端分别通过电导线与安装于炉体外壳壁上的电源连接器连接，硅钼棒的电流输入端与电导线之间、硅钼棒的电流输出端与电导线之间分别通过弹簧卡接装置进行连接；每个弹簧卡接装置均包括一对U型卡接件以及用于将两个U型卡接件锁紧的紧固件，每个U型卡接件的中部设有U型凹槽，硅钼棒的电流输入端或输出端套置在由两个U型卡接件的U型凹槽对扣后形成的套孔内，每个U型卡接件的U型凹槽内还设有活动金属弹簧片，该活动金属弹簧片的一端与U型卡接件固定连接，另一端悬置于U型凹槽内并扣紧在硅钼棒的棒体外壁上，且活动金属弹簧片与U型凹槽的槽壁之间留有活动空隙；所述电导线与活动金属弹簧片导电连接。

较之现有技术而言，本实用新型具有以下优点：

(1)采用硅钼棒作为发热元件，其发热时的最高温度可达1900度，与电炉丝发热相比，本实用新型大大提高了发热温度，因此能够适应多晶硅精练提纯工艺所需要的高温环境要求；而与传统的焦炭发热相比，本实用新型升温速度快，30分钟内可由室温提升到1700度，有利于提高生产效率。

(2)由于由于电导线和硅钼棒的受热膨胀系数不同，且硅钼棒发热元件在通电受热至1400度时会产生软化，因此当硅钼棒的电流输入端或输出端与电导线连接过紧时，会因硅钼棒出现的热胀冷缩现象而使硅钼棒损坏，而当硅钼棒的电流输入端或输出端与电导线连接过松时，又会导致触点接触不良现象，这些都会影响到结晶炉的正常工作；本实用新型由于采用弹簧卡接装置对硅钼棒的电流输入端或输出端与电导线之间进行连接，当硅钼棒热胀冷缩时，扣紧在硅钼棒的棒体外壁上的活动金属弹簧片可随着硅钼棒的热胀冷缩而在U型凹槽的活动空隙内自由伸缩移动，因此一方面既可确保触点接触稳定，又可避免硅钼棒因热胀冷缩而产生断裂，从而有利于保证结晶炉正常稳定的工作，另一方面还可大大延长硅钼棒的使用寿命，减少炉子的正常维修周期。

(3)与传统的焦炭结晶炉相比，本实用新型可大大提高多晶硅的提纯容量，大大提高了生产效率。

(4)与传统的焦炭结晶炉相比，本实用新型由于采用硅钼棒作为发热元件，不仅发热温度高，而且温度容易控制，因此在使用过程中，可根据不同元素的分离系数差异，通过元素的比重、熔点的不同，将各种不同的金属元素进行有规律的分离析出，使杂质含量减少，从而进一步提高了硅的纯度，本实用新型具有结晶率高、晶体定向生长分明、晶体质量好的优点。

附图说明

图1是本实用新型实施例构造示意图。

图2是图1中的硅钼棒放大示意图。

图3是图2的右视图。

图4是图2的后视图。

图5是弹簧卡接装置与硅钼棒的电流输入端或输出端连接的放大示意图。

图中标号说明：1-炉体，11-炉膛，2-炉盖，3-硅钼棒，4-电导线，5-电源连接器，6弹簧卡接装置，61-U型卡接件，62-紧固件，63-U型凹槽，64-活动金属弹簧片，7-炉温调节装置，71-计算机控制器，72-可控硅温控器，73-另一电源连接器。

具体实施方式

下面结合说明书附图和具体实施方式对本实用新型内容进行详细说明：