[实用新型]用于真空沉积系统的侧热台

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是一种电力加热技术领域的装置，具体是一种用于真空沉积系统的侧热台。

背景技术

传统装置存在的几个问题：1、电阻丝为弹簧电阻丝，与导热面板的距离大，直接接触的面积小，热量损失多，功耗大。2、导热盖为螺旋镶嵌式：导热盖与底座通过螺纹镶嵌，很容易卡因受热膨胀而卡滞。

在实际的应用中发现，传统装置中存在的问题1影响了加热的效率和效果；问题2导致拆卸不便，且在安装和拆卸过程中容易导致受热体的破损。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的上述不足，提供一种用于真空沉积系统的侧热台，解决传统的固定装置容易受热胀冷缩的影响而卡滞，加热系统低效率、高能耗以及受热体的装卸不便等问题。

本实用新型是通过以下技术方案实现的，本实用新型包括：电热盘、热电偶、底座、导热盖、压片和导热面板，其中：导热盖卡接于底座上，电热盘和热电偶分别固定设置于底座内，导热面板固定设置于电热盘的外侧并与受热体相接触，压片的一端固定设置于导热盖上，另一端与受热体相接触。

所述的电阻丝为直线状结构，减小了电阻丝与导热盖之间的距离，并且增大了二者直接接触面积，减少了热量的损失，从而提高了加热效果，减小了功耗。

所述的底座上设有凸块，所述的导热盖上对应位置设有卡口，使得导热盖通过相应的卡口安装到底座上。

所述的导热盖为分体式结构或整体式结构。

本实用新型能够提高受热体的加热效率，实现样品的快装快卸。

附图说明

图1为实施例1结构示意图。

图2为实施例2结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

实施例1

如图1所示，本实施例包括：电热盘1、底座2、热电偶3、电阻丝4、卡口5、快卸式导热盖6、压片7、导热面板8、受热体9和凸块10组成，其中：电热盘1和热电偶3分别固定设置于底座2内，导热盖6卡接于底座2上，导热面板8固定设置于电热盘1的外侧并与受热体相接触，压片7的一端固定设置于导热盖6上，另一端与受热体9相接触。

如图1所示，所述的导热盖6为分体式结构，该导热盖6上设有一个独立的可拆卸的导热面板8，该导热面板8为高反射性金属、高反射性合金或透明非金属材质制成。

所述的电阻丝4为直线状结构，减小了电阻丝4与导热盖6之间的距离，并且增大了二者直接接触面积，减少了热量的损失，从而提高了加热效果，减小了功耗。

所述的底座2上设有凸块10，所述的导热盖6上对应位置设有卡口5，使得导热盖6通过相应的卡口5和凸块10安装到底座2上。

实施例2

如图2所示，本实施例中涉及的导热盖6为整体式结构，导热盖6的外部即为导热面，不可单独更换。

上述实施例经实际使用后解决了传统的固定装置容易受热胀冷缩的影响而卡滞，加热系统低效率、高能耗以及受热体的装卸不便等问题。