[实用新型]磁控射频电源功率输出切换器无效
| 申请号： | 200920350078.0 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201570899U | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | H02J9/06 | 分类号： | H02J9/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频 电源 功率 输出 切换 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控射频电源功率输出切换器，其特征在于：包括多个真空继电器，各真空继电器的线圈与外控接口相连，各真空继电器的常开接点分别通过射频接头接至各射频磁控靶。
2.按权利要求1所述的磁控射频电源功率输出切换器，其特征在于：整体设于铝箱中，真空继电器的线圈及接点部分与线圈的控制线通过铝制隔板完全隔离。
3.按权利要求1所述的磁控射频电源功率输出切换器，其特征在于：所述多个真空继电器的公共端接至功率源的射频匹配器的输出端。
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