[实用新型]离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机

权利要求书

1.一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；其特征在于：所述真空室(4)内设有与其密封连接的中心转轴(14)，中心转轴(14)的底端与安装在机架(6)上的驱动电机(5)的输出轴相连接；所述中心转轴(14)的两侧对称设有安装在真空室(4)内壁的离子束(2)和弧源(12)，中心转轴(14)上设有与其共同转动的工件架(11)；该工件架(11)位于离子束(2)和弧源(12)的下方。

2.按权利要求1所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述离子束(2)和弧源(12)为多层、上下设置，每一层离子束(2)和弧源(12)的下方均设有一个与中心转轴(14)共同转动的工件架(11)。

3.按权利要求1或2所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述工件架(11)的上方设有安装在中心转轴(14)上的加热器(13)。

4.按权利要求3所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述加热器(13)通过真空室(4)上的加热电源电极(10)通电工作。

5.按权利要求1或2所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述离子束(2)为条形，所述弧源(12)为圆柱形。

6.按权利要求1所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述真空室(4)上设有可开关的真空室前门(1)，在真空室前门(1)上及真空室(4)外壁上分别设有对真空室进行水冷的水冷道(3)。

7.按权利要求6所述的离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，其特征在于：所述真空室前门(1)上设有用于观察真空室内情况的观察窗(15)。