[实用新型]蒸发舟夹紧导电机构无效
申请号: | 200920353427.4 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN201587979U | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发 夹紧 导电 机构 | ||
1.一种蒸发舟夹紧导电机构,适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电及夹紧,其特征在于:所述蒸发舟夹紧导电机构包括电极件及压紧件,所述电极件开设有定位槽,所述蒸发舟的安装端收容于所述定位槽内,所述压紧件与所述电极件枢接并抵压于收容于所述定位槽内的蒸发舟的安装端上。
2.如权利要求1所述的蒸发舟夹紧导电机构,其特征在于:所述电极件包括电极块及导电座,所述电极块的顶面开设有安装凹槽,所述导电座的底面开设有与所述安装凹槽相对应的安装凸块,所述导电座的顶面凸伸出相互平行的第一支撑架及第二支撑架,所述压紧件与所述导电座枢接,所述第一支撑架、所述第二支撑架与所述导电座的顶面之间形成所述定位槽。
3.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧导电机构,其特征在于:还包括铰轴,所述第一支撑架及第二支撑架与所述压紧件沿同一直线均开设有通孔,所述铰轴枢接地穿过所述通孔使所述压紧件与所述导电座枢接。
4.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧导电机构,其特征在于:所述压紧件设有紧定螺钉,所述紧定螺钉啮合穿过所述压紧件并与所述导电座的顶面抵压,所述紧定螺钉驱动所述压紧件与所述蒸发舟的安装端抵压。
5.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧导电机构,其特征在于:所述电极块的顶面呈台阶状。
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