[发明专利]对光学光刻系统中的扇区极化照明源进行建模

权利要求书

1.一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中的横向电极 化照明源的物理实现的方法，所述方法包括：

将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的 物理实现；

对于每个扇区，通过限定基本垂直于平分所述扇区的半径的恒 定线性极化角，以及基于相应的所述恒定线性极化角为所述扇区中 的线性极化状态提供数学表示，对所述照明源的物理实现进行建模， 其中所述数学表示与所述扇区内的所述照明源的物理实现匹配；以 及

将对所述照明源的物理实现进行建模的所述源极化模型结合到 光学光刻模型中，

其中一组圆扇区中的各个圆扇区由单个线性极化状态建模。

2.根据权利要求1所述的方法，其中分割所述照明源的照明瞳 面包括将所述照明瞳面分割成四个基本相等的圆扇区。

3.根据权利要求2所述的方法，其中为所述四个基本相等的圆 扇区中每一个限定恒定线性极化角包括：

为Y轴上一对相对的圆扇区限定X极化状态；以及

为X轴上一对相对的圆扇区限定Y极化状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其中分割所述照明源的照明瞳 面包括将所述照明瞳面分割成八个基本相等的圆扇区。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括增加分割 中扇区的数目以更好地逼近理想的横向电极化照明源。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学光刻模型包括光 学邻近校正模型。

7.根据权利要求6所述的方法，其中将所述源极化模型结合到 所述光学光刻模型中包括：

计算所述源极化模型中每个扇区对所述光学光刻模型的影响； 以及

将所述一组扇区的计算的影响组合到所述源极化模型中。

8.一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中的横向磁极 化照明源的物理实现的方法，所述方法包括：

将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的 物理实现；

对于每个扇区，通过限定基本平行于平分所述扇区的半径的恒 定线性极化角，以及基于相应的所述恒定线性极化角为所述扇区中 的线性极化状态提供数学表示，对所述照明源的物理实现进行建模， 其中所述数学表示与所述扇区内的所述照明源的物理实现匹配；以 及

将对所述照明源的物理实现进行建模的所述源极化模型结合到 光学光刻模型中，

其中一组圆扇区中的各个圆扇区由单个线性极化状态建模。

9.一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中照明源的分 段恒定线性极化配置的方法，所述方法包括：

将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的 物理实现；

通过分别指定每个扇区中的恒定线性极化状态以匹配所述照明 源的极化配置，为所述照明源构造所述源极化模型；以及

将对所述照明源的物理实现进行建模的所述源极化模型结合到 光学光刻模型中，

其中一组圆扇区中的各个圆扇区由单个线性极化状态建模。

10.根据权利要求9所述的方法，其中将所述照明源的照明瞳 面分割成一组扇区包括：

径向扇区分割；以及

圆扇区分割；以及

具有特定扇区形状和定位的其他分割。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述照明源的分段恒定 线性极化配置包括：

逼近的横向电极化配置；

逼近的横向磁极化配置；以及

任何其他分段恒定线性极化配置。

12.根据权利要求9所述的方法，其中指定每个扇区中的恒定 线性极化状态包括：

指定所述扇区中的线性极化角；以及

基于所述线性极化角提供所述扇区中的线性极化状态的数学表 示。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述光学光刻模型包括 光学邻近校正模型。