[发明专利]涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在物体的表面形成具有各种的功能的涂敷膜的方法以及 装置。

背景技术

作为用于从多种气体或液体的混合物分离特定的气体或液体的过滤器，已 知有在多孔体的表面形成分离膜的过滤器。该分离膜的形成是通过在要形成分 离膜的多孔体的表面涂敷分离膜的前驱体的溶液而形成涂敷膜(制膜)，并对 其进行干燥、热处理来实现。

另外，在印刷电路板的制作中具有在基板表面形成厚度均匀的抗蚀膜的工 序，该抗蚀膜的形成通过在基板的表面涂敷抗蚀液来实现。

这样，在制作在其表面形成具有各种功能的膜的物品时，作为在规定的物 体(涂敷对象物)的表面涂敷用于形成膜的液体(涂敷液)的方法，一直以来 广泛使用浸渍法。该方法例如专利文献1～3所记载的那样，按照将涂敷对象物 浸渍在填满容器(浸渍槽)的涂敷液中，在放置某种程度的时间后，将涂敷对 象物从涂敷液中捞起的顺序进行。

然而，在这种现有的涂敷方法中，在涂敷对象物的体积大或重量重的场合， 伴随浸渍和捞起的涂敷对象物的上下移动中需要大规模的装置，确保移动作业 的安全性也困难，而且，想要在多个涂敷对象物上一次形成涂敷膜的场合，必 需支撑各个涂敷对象物使其上下移动。再有，想要仅在涂敷对象物的表面的一 部分形成涂敷膜的场合，浸渍在涂敷液之前，必需用密封材料覆盖其以外的整 个部分，花费时间和劳力。

专利文献1：特开2007-38210号公报

专利文献2：特许第3652053号公报

专利文献3：特开平5-67861号公报

发明内容

本发明是鉴于这种现有技术的情况而提出的方案，目的在于提供一种不需 要用于使涂敷对象物移动的大规模的装置，能够更简单且安全地在涂敷对象物 上形成涂敷膜的涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置。

为了达到上述目的，根据本发明可提供以下涂敷膜形成方法以及涂敷膜形 成装置。

(1)一种涂敷膜形成方法，将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽 内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液 面上升到使上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷 液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下 去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。

(2)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸渍槽的送入 所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降， 通过容纳上述涂敷液并利用导管与上述浸渍槽连通的溶液容器的升降来进行。

(3)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸渍槽的送入 所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降， 通过设置在导管上的泵来进行，该导管连通容纳了上述涂敷液的溶液容器和上 述浸渍槽。

(4)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，使上述涂敷液的液面以一定 速度下降。

(5)一种涂敷膜形成装置(第一涂敷膜形成装置)，用于通过在涂敷对象 物的表面的至少一部分涂敷涂敷液来形成涂敷膜，具备：容纳上述涂敷对象物 的浸渍槽；容纳上述涂敷液的溶液容器；使上述溶液容器升降的升降装置；连 通上述溶液容器和上述浸渍槽的导管；以及设置在上述导管上的阀。

(6)一种涂敷膜形成装置(第二涂敷膜形成装置)，用于通过在涂敷对象 物的表面的至少一部分涂敷涂敷液来形成涂敷膜，具备：容纳上述涂敷对象物 的浸渍槽；容纳上述涂敷液的溶液容器；连通上述溶液容器和上述浸渍槽的导 管；以及设置在上述导管上的泵。

(7)根据方案(5)记载的涂敷膜形成装置，上述溶液容器可调节其内部 压力。

(8)根据方案(5)～(7)任一项记载的涂敷膜形成装置，具备密封上述 涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与上述浸渍槽的内周面之间的密封部 件。

(9)根据方案(8)记载的涂敷膜形成装置，具备用于对由上述浸渍槽的 内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间供给加压气体的 加压气体供给装置。

(10)根据方案(5)～(9)任一项记载的涂敷膜形成装置，上述涂敷对 象物是整体形状(モノリス形状)的多孔体。