[发明专利]电子零件有效
申请号: | 200980100229.X | 申请日: | 2009-02-17 |
公开(公告)号: | CN101785099A | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 大野和幸;田中祥雄;中岛清;鞍谷直人;前川智史 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L21/52 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子零件 | ||
技术领域
本发明涉及电子零件。具体而言,涉及在基板上安装有传感芯片及电子电路等半导体元件的电子零件。
背景技术
作为在印刷基板上安装半导体元件并由罩覆盖的电子零件(麦克风封装),例如有专利文献1公示的结构。在专利文献1公示的电子零件中,如图1~图3各方式所示,使用MEMS技术制作的麦克风11在下表面中央部设有空洞12,使用环氧树脂1 3将麦克风11的下表面装片在印刷基板14的上表面。这样将麦克风11装片在印刷基板14上时,当被麦克风11压靠的环氧树脂13流入空洞12中时,由于流入的树脂,空洞12内的容积产生偏差,或由于环氧树脂13流出而使麦克风11与印刷基板14之间的环氧树脂13的膜厚产生偏差,麦克风11的特性可能会受到不良影响。因此,在专利文献1中,通过在空洞12内在印刷基板14的上表面设置保持环15,防止装片用的环氧树脂13流入空洞12中,抑制对麦克风11的不良影响。
具体而言,在图1所示的方式中,将麦克风11的下表面内周部重合在保持环15之上,利用环氧树脂13来粘接麦克风11的下表面外周部和印刷基板14之间。因此,在利用环氧树脂13装片麦克风11时,阻止环氧树脂13通过保持环15向空洞12的内部流入。
但是,在该方式中,对于向麦克风11的外侧流出的环氧树脂13没有任何的考虑,因此,不能抑制向外侧流出的环氧树脂13。因此,在将环氧树脂13加热固化之前,环氧树脂13向外侧流出,流出的环氧树脂13有时会到达用于将金属罩16接地的接地图案17。金属罩16与印刷基板14一起构成法拉第罩而遮蔽外部的高频干扰,因此,通过导电性粘接树脂与接地图案17粘接,但是,在粘接金属罩16之前,流出的环氧树脂13在接地图案17的表面形成非导电性覆膜时,在该部位引起金属罩16与接地图案17的导通不良,具有使高频干扰的遮蔽性降低的问题。
为了避免这种不良情况,以往,在装片麦克风11的区域与接地图案17的区域之间保持足够的距离。但是,增大该距离时,其结果是电子零件的设置面积(footprint)变大,电子零件的尺寸变大,妨碍电子零件的小型化。
另外,在图2所示的方式中,利用环氧树脂13将麦克风11的整个下表面粘接在印刷基板14上,在空洞12内设置保持环15,由保持环15堵截流入的环氧树脂13。
另外,在图3所示的方式中,为了提高保持环15堵截环氧树脂13的效果,将图2的方式中的保持环15的厚度增大。
但是,在图2及图3的方式中,即使正确地管理环氧树脂13的涂敷量,或以使麦克风11的按压力一定的方式进行管理,由于直至使涂敷的环氧树脂13固化的时间及外部环境的温度等,而使从麦克风11的下表面流出的环氧树脂13的量改变,因此,麦克风11的下表面与印刷基板14之间的固化后的树脂厚度的偏差变大。其结果是空洞12的容积变动、或环氧树脂13的厚度产生偏差、其弹性变化,存在麦克风11的特性受到影响的问题。
为了抑制这种不良情况,目前在组装工序中严格管理外部环境,另外,严格实施将涂敷环氧树脂13后到进行树脂烘烤(增加温度使环氧树脂13固化的工序)的时间缩短等的工序上的管理。但是,要严格进行组装工序中的外部环境的管理,需要高价的环境设备,在成本方面不理想。另外,若将涂敷环氧树脂13后到进行树脂烘烤的时间缩短,则必须将电子零件麻利地投入烘烤炉内,因此,人工费增加,并且,难以进行烘烤炉的温度管理,在这一点上导致成本提高,不理想。
另外,在图2的方式中,由印刷基板14的导体图案形成保持环15,因此,麦克风11由环氧树脂13固定在印刷基板14的除导体图案之外的区域上。印刷基板14的导体图案与金属罩对齐而起到遮蔽来自外部的高频干扰的作用,因此,在图2的方式中,麦克风11正下方的高频干扰的遮蔽性变差。与此同时,印刷基板14的导体图案大大有助于电子零件整体的刚性,因此,通过在该区域除去导体图案,电子零件的刚性变差,由此,也有可能对电子零件的功能产生不良影响。
另一方面,在图3的方式中,为了设置厚度大的保持环15,必须追加与印刷基板14的导体图案不同的其它部件而形成保持环15,导致成本增加。
专利文献1:美国专利第7,166,910号说明书
发明内容
本发明是鉴于上述问题而作出的,其目的在于提供一种电子零件,能够防止用于在基板上固定半导体元件的装片树脂从装片区域流出,并且能够将稳定化半导体元件的特性。
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