[发明专利]太阳能电池组件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及具备逆电压矫正工序的太阳能电池组件的制造方法。

背景技术

一般，薄膜类的太阳能电池组件具备在透明基板上依次形成的透 明电极、半导体层以及金属电极。

例如，通过CVD法在透明电极上形成半导体层时，存在附着在透 明电极上的异物进入到半导体层中的情况。如果金属电极材料被填充 在由于从半导体层剥离这样的异物而形成的针孔中，则在透明电极与 金属电极之间发生短路。其结果是产生太阳能电池组件的输出降低的 问题。

因而，提出了通过施加与在半导体层中产生的光电动势反向的电 压(以下，称为逆电压。)，使充填在针孔中的金属电极材料蒸发的方 法(例如，参照专利文献1)。一般，施加逆电压的工序称为逆电压矫 正工序。

专利文献1：昭60-46080号公报

发明内容

但是，在专利文献1中记载的方法中，难以去除透明电极与金属 电极之间的微观的短路。具体地讲，微观的短路由于半导体层的一部 分成为低电阻，或者伴随着微小异物的混入形成微小的针孔而发生。 在这种微观短路发生的位置即使施加了逆电压，由于金属电极材料未 被加热到蒸发那样的高温，因此不能去除微观的短路。

本发明是鉴于上述的状况而完成的，目的是提供能够抑制发生透 明电极与金属电极之间的微观短路的太阳能电池组件的制造方法。

本发明的特征涉及的太阳能电池组件的制造方法的宗旨是包括： 在透明基板的主面上依次形成透明电极层、半导体层和金属电极层的 工序；在金属电极层上形成树脂层的工序；通过在透明电极层与金属 电极层之间施加与在半导体层中产生的光电动势反向的电压，使得在 形成于树脂层中的针孔内露出金属电极层的一部分的工序；和通过以 树脂层为掩模对金属电极层的一部分进行蚀刻，去除金属电极层的一 部分的工序。

依据本发明的特征涉及的太阳能电池组件的制造方法，由于在透 明电极层与金属电极层之间发生的短路是微观的，因此即使在不能蒸 发金属电极层的情况下，通过蒸发去除树脂层的一部分，在树脂层中 形成针孔。从而，能够使金属电极层中发生微观短路的部分露出于针 孔内。通过用蚀刻去除露出的金属电极层，即金属电极层中发生微观 短路的部分，能够抑制透明电极与金属电极之间的微观短路的发生。

本发明的特征涉及的太阳能电池组件的制造方法的宗旨是包括： 在透明基板的主面上依次形成透明电极层、半导体层和金属电极层的 工序；通过在透明电极层与金属电极层之间施加与在半导体层中产生 的光电动势反向的电压，在金属电极层中形成第一针孔的工序；在金 属电极层上和第一针孔内形成树脂层的工序；通过在透明电极层与金 属电极层之间施加逆电压，使得在树脂层中形成的第二针孔内露出金 属电极层的一部分的工序；和通过以树脂层为掩模对金属电极层的一 部分进行蚀刻，去除金属电极层的一部分的工序。

在本发明的特征中，半导体层具有在透明电极上依次形成的第一 半导体层、透光性导电层和第二半导体层，在形成第一针孔的工序中， 第一针孔也可以至少贯通金属电极层和第二半导体层。

依据本发明，能够提供可以抑制透明电极与金属电极之间的微观 短路发生的太阳能电池组件的制造方法。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的太阳能电池组件10的截面图。

图2是本发明第一实施方式的太阳能电池组件10的概略图。

图3是用于说明本发明第一实施方式的太阳能电池组件10的制造 工序的图(之一)。

图4是用于说明本发明第一实施方式的太阳能电池组件10的制造 工序的图(之二)。

图5是用于说明本发明第一实施方式的太阳能电池组件10的制造 工序的图(之三)。

图6是本发明第二实施方式的太阳能电池组件30的截面图。

图7是用于说明本发明第二实施方式的太阳能电池组件30的制造 工序的图(之一)。

图8是用于说明本发明第二实施方式的太阳能电池组件30的制造 工序的图(之二)。

图9是用于说明本发明第二实施方式的太阳能电池组件30的制造 工序的图(之三)。

1：透明基板

2：透明电极层

3：半导体层

3a：第一半导体层

3b：透光性导电层