[发明专利]成膜方法

说明书

技术领域

本发明涉及成膜方法。

背景技术

公知有如下所述的成膜方法，其在玻璃及塑料等基板的表面上以具有规定方向的条纹状微细凹凸面的方式刻出深度为10～400nm的刻痕，之后，在所述微细凹凸面上形成规定组成的防油性膜，从而制造防油性物品(专利文献1)。

专利文献1：日本特开平9-309745号公报。

当在这种防油性物品的防油性膜的表面附着有指纹等的油分时，可以用擦拭布等擦去该油分。

利用专利文献1的现有方法形成的防油性物品在基板表面以规定深度形成有规定方向的条纹状的刻痕。因此，当使擦拭布等沿与刻痕的方向交叉的方向滑动来擦拭所述油分时，容易将形成在最表面的防油性膜擦去，从而存在因这种磨损而使防油性膜的防油性消失的问题。

尤其是在横向滑动试验(トラバ一ス摺動试验)中，以对帆布施加0.1kg/cm²左右的轻负荷的状态进行滑动试验(参照专利文献1的段落0038)的情况下，不能说用专利文献1的方法形成的防油性物品具备能够耐用的耐磨损性。

发明内容

本发明所要解决的课题是提供一种能够制造具有防油性膜的防油性基材的成膜方法，该防油性膜具备能够耐用的耐磨损性。

本发明通过以下所述的解决手段来解决上述课题。在以下所述的解决手段中，在示出发明的实施方式的附图上标以对应的符号进行说明，但该符号旨在便于理解发明，而对本发明没有限定作用。

本发明的成膜方法具有：对基板(101)的表面照射具有能量的粒子的第一照射工序；使用干式法在所述第一照射工序后的基板(101)的表面成膜第一膜(103)的第一成膜工序；在第一膜(103)的表面成膜具有防油性的第二膜(105)的第二成膜工序。

在上述发明中，可以在第一照射工序中使用加速电压为100～2000V的具有能量的粒子。

在上述发明中，可以在第一照射工序中使用电流密度为1～120μA/cm²的具有能量的粒子。

在上述发明中，可以在第一照射工序中照射所述粒子60～1200秒。

在上述发明中，可以在第一照射工序中，以5×10¹⁴个/cm²～5×10¹⁷个/cm²的数量照射所述粒子。

在上述发明中，具有能量的粒子可以是至少包含氩或氧的离子束。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中，通过使用离子束的离子辅助蒸镀法来成膜第一膜(103)。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中使用加速电压为100～2000V的离子束。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中使用电流密度为1～120μA/cm²的离子束。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中照射所述离子束1～800秒。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中，以1×10¹³个/cm²～5×10¹⁶个/cm²的数量照射所述离子束。

在上述发明中，在第一成膜工序中使用的离子束可以是氧、氩或氧与氩的混合气体的离子。

在上述发明中，可以在第一成膜工序中，通过反复进行溅射处理和等离子体处理来成膜第一膜(103)。

另外，第二膜(105)可以不需要成膜于在第一照射工序后的基板(101)的表面形成的第一膜(103)的表面，而可以成膜于第一照射工序后的基板(101)的表面。即，本发明的成膜方法包括：对基板(101)的表面照射具有能量的粒子的照射工序；在照射工序后的基板(101)的表面成膜具有防油性的膜(105)的成膜工序。

在上述发明中，可以在第二成膜工序之前，具有对第一膜(103)照射具有能量的粒子的第二照射工序。

在上述发明中，可以在第二照射工序中，使用加速电压为100～2000V的具有能量的粒子。

在上述发明中，可以在第二照射工序中，使用电流密度为1～120μA/cm²的具有能量的粒子。

在上述发明中，可以在第二照射工序中照射所述粒子1～800秒。

在上述发明中，可以在第二照射工序中，以10¹³个/cm²～5×10¹⁷个/cm²的数量照射所述粒子。

在上述发明中，在第二照射工序中使用的具有能量的粒子可以是至少包含氩的离子束。