[发明专利]层叠型压电元件及压电泵无效
申请号: | 200980100908.7 | 申请日: | 2009-04-13 |
公开(公告)号: | CN101842916A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 长尾信哉;西村俊雄;西川雅永 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;F04B43/04;H01L41/187;H01L41/22;H02N2/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 层叠 压电 元件 | ||
1.一种层叠型压电元件,其特征在于,包括:
层叠型压电体,该层叠型压电体具有第一压电体层、第二压电体层、以及层叠于第一及第二压电体层之间的第三压电体层;
第一、第二激励电极,该第一、第二激励电极夹着所述压电体的第一压电体层而相对,且位于俯视第一压电体层时的中央区域;以及
第三、第四激励电极,该第三、第四激励电极夹着所述第二压电体层而相对,且配置在设置有所述第一、第二激励电极的区域的周边区域中,
将所述第一、第二激励电极当中夹着第一压电体层而相重叠的第一驱动区域的第一压电体层部分沿层叠型压电体的厚度方向进行极化,
将所述第三、第四激励电极当中夹着第二压电体层而相重叠的第二驱动区域的第二压电体层部分沿与所述第一驱动区域相同的方向进行极化处理。
2.如权利要求1所述的层叠型压电元件,其特征在于,
在所述第一、第二压电体层的至少一个压电体层的层叠方向外侧,层叠了第四压电体层。
3.如权利要求1所述的层叠型压电元件,其特征在于,
在所述第一、第二压电体层的外侧不具有压电体层,在所述第一压电体层的外表面形成有所述第二激励电极,在所述第二压电体层的外表面形成有所述第三激励电极。
4.如权利要求1至3的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
所述压电体层的整体沿厚度方向同样地进行极化处理。
5.如权利要求1至3的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
在所述第一、第二驱动区域中,第一、第二压电体层沿厚度方向极化,第一、第二驱动区域以外的压电体部分未被极化。
6.如权利要求1至5的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
配置第一、第二驱动区域,使得在俯视时,所述第一驱动区域的外侧的边缘、与所述第二驱动区域的第一驱动区域侧的边缘连接。
7.如权利要求1至5的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
在俯视时,所述第一驱动区域的外侧的边缘、与所述第二驱动区域的所述第一驱动区域侧的边缘隔开,在第一、第二驱动区域间配置缓冲部。
8.如权利要求1至7的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
在所述第一驱动区域的两侧配置一对第二驱动区域。
9.如权利要求1至7的任一项所述的层叠型压电元件,其特征在于,
所述第一、第二激励电极的平面形状为正方形或矩形,所述第三、第四激励电极的平面形状为矩形。
10.一种压电泵,其特征在于,
包括:具有泵室的泵主体;以及压电元件,该压电元件保持在泵主体上以封闭泵室,在施加了电压时发生弯曲位移以使泵室的容积变化,
所述压电元件的封闭所述泵室的部分,具有中央部分、以及包围中央部分的周边部分,根据施加的驱动电压,中心部分与驱动部沿相反方向发生弯曲位移,
所述压电元件包括权利要求1至9的任一项所述的层叠型压电元件。
11.如权利要求10所述的压电泵,其特征在于
所述压电元件还包括膜片,在膜片的一面固定了所述层叠型压电元件,与膜片的固定有层叠型压电元件的一侧的相反侧的面,是封闭所述泵室的部分。
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