[发明专利]具有快速锁紧系统的柱塞

权利要求书

1.一种用于将尤其是集成电路的电子结构元件传送到接触装置或者从所述接触装置移走的柱塞，所述接触装置与检测装置相连接，所述柱塞具有：

-柱塞保持件(2)；

-柱塞滑动件(3)，所述柱塞滑动件(3)以能够移动的方式在所述柱塞保持件(2)上被引导，并且所述柱塞滑动件(3)具有基体(7)和能够固定在所述基体(7)上的柱塞头(23)，所述柱塞头(23)用于借助于真空保持结构元件，

其特征在于，所述柱塞头(23)能够借助于快速锁紧系统固定在所述基体(7)上，所述快速锁紧系统包括设在所述基体(7)上的第一锁紧机构(31)和设在所述柱塞头(23)上的第二锁紧机构(33)，其中所述两个锁紧机构(31、33)构成为使得通过所述柱塞头(23)的相对于所述基体(7)旋转将所述两个锁紧机构(31、33)设置在从后面彼此相互接合的位置中，在所述位置中所述柱塞头(23)在轴向与所述基体(7)相耦联。

2.根据权利要求1所述的柱塞，其特征在于，设在所述基体(7)上的所述锁紧机构(31)包括朝所述柱塞头(23)的方向突出的球形件(32)，所述球形件(32)具有在其周向分布的至少两个轴向槽(41)和位于所述轴向槽(41)之间的球面部分(42)，并且设在所述柱塞头(23)上的所述锁紧机构(33)具有夹紧元件(34)，所述夹紧元件(34)能够沿着所述轴向槽(41)移动并且通过旋转所述柱塞头(23)而被带到从后面接合所述球面部分(42)的位置中。

3.根据权利要求2所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞头(23)具有头部中央部分(25)，所述头部中央部分(25)具有与所述基体(7)的球形件(32)相匹配的球冠(40)，所述球冠(40)设置在所述球形件(32)上。

4.根据权利要求2或者3所述的柱塞，其特征在于，所述球形件(32)包括真空管(37)，所述真空管(37)一方面与所述基体(7)的真空供应管(38)相连接并且另一方面与所述柱塞头(23)的至少一个真空通道(50)相连接。

5.根据前述权利要求中任一项所述的柱塞，其特征在于，所述基体(7)具有基件(15)和耦联板(16)，所述耦联板(16)横向于所述柱塞(1)的轴向浮动地固定在所述基件(15)上，其中所述第一锁紧机构(31)固定在所述耦联板(16)上并且所述柱塞头(23)能够借助于所述快速锁紧系统与所述耦联板(16)相耦联。

6.根据权利要求5所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞头(23)具有至少一个轴向定位孔(12)并且在所述柱塞保持件(2)上固定有至少一个朝所述柱塞头(23)的方向伸出的定位销(10)，在所述柱塞滑动件(3)的回缩位置中所述定位销(10)接合在所述柱塞头(23)的所述相关联的定位孔(12)并且在所述柱塞滑动件(3)的前移位置中所述定位销(10)没有与所述柱塞头(23)定位接合。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞头(23)具有带有前面的插座部分(24b)的插座(24)和良好导热性的调温体(26)，所述调温体(26)能够插入所述前面的插座部分(24b)中和/或放置在所述前面的插座部分(24b)上并且具有用于所述结构元件的支承面(4)，其中至少一个真空通道(50)延伸穿过所述调温体(26)并且通入到所述支承面(4)中。

8.根据权利要求7所述的柱塞，其特征在于，围绕着所述头部中心部分(25)的球冠(40)设置多个流道(43)，所述流道(43)通向所述前面的插座部分(24b)并且将调温流体导向所述调温体(26)。

9.根据权利要求8所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞头(23)在其面向所述耦联板(16)的一侧上具有环形密封件(45)，所述密封件(45)围绕着所述流道(43)延伸并且以流体密封的方式紧挨着所述耦联板(16)。