[发明专利]单轴线性电动机、多轴线性电动机及元件移载装置

权利要求书

1.一种单轴线性电动机，其特征在于：

包括磁体和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述磁体之间产生的磁通的相互作用来形成使所述磁体和所述电枢沿所定的直线状的移动方向相对变位的力，

该单轴线性电动机还包括：

底板，所述移动方向设定在其底面上；

可动部，沿所述移动方向相对往返移动自如地安装在所述底板上；

动子，设置在所述可动部上，构成所述磁体和所述电枢其中一者；

定子，以在所述底面的宽度方向上与所述动子相对的状态设置在所述底板的所述底面上，沿所述移动方向构成所述磁体和所述电枢其中另一者；

立壁，设置于所述底板的至少沿所述移动方向的外缘部分上，与所述底面一起形成收纳空间，该收纳空间具有让所述定子、所述动子及所述可动部能够沿与所述底面正交的方向插拔的开口。

2.根据权利要求1所述的单轴线性电动机，其特征在于：

所述立壁区划开放部，该开放部在所述收纳空间的所述移动方向上的一端开放，以容许与所述可动部连接的被驱动体对应于往所述移动方向的所述可动部的驱动而在所述收纳空间中的出入移动。

3.根据权利要求1或2所述的单轴线性电动机，其特征在于：

所述可动部、所述定子及所述动子以处于收纳空间内的与所述底面正交的方向上的纵深侧的状态，收纳在所述收纳空间中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的单轴线性电动机，其特征在于还包括：

盖部件，安装于所述立壁的顶部，以覆盖所述收纳空间以及收纳于所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态将所述开口予以闭合。

5.一种多轴线性电动机，其特征在于：

是将多个权利要求3所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置的多轴线性电动机，其中，

位于所述层叠方向的下层侧的下层侧单轴线性电动机的收纳空间，被在该下层侧单轴线性电动机的上层侧邻接的上层侧单轴线性电动机的所述底板的背面所覆盖。

6.根据权利要求5所述的多轴线性电动机，其特征在于还包括：

盖部件，安装在所述多个单轴线性电动机中位于所述层叠方向的最上层的最上层侧单轴线性电动机的立壁的顶部，以从所述层叠方向的上层侧覆盖所述最上层侧单轴线性电动机的所述收纳空间以及插入设置在所述收纳空间中的所述可动部、所述定子及所述动子的状态，将所述最上层侧单轴线性电动机的开口予以闭合。

7.一种多轴线性电动机，其特征在于：

是将多个权利要求4所述的单轴线性电动机沿与所述底面正交的层叠方向层叠设置的多轴线性电动机。

8.一种元件移载装置，将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其特征在于包括：

头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；

头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，

所述上下驱动机构是权利要求1至4中任一项所述的单轴线性电动机，

所述单轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行的状态安装于所述基座部件，

所述单轴线性电动机的所述可动部与所述吸嘴轴连接。

9.一种元件移载装置，将元件从元件收容部移载到元件搭载区域，其特征在于包括：

头部组件，包含基座部件、吸嘴轴及上下驱动机构，其中，所述吸嘴轴沿上下方向移动自如地支撑在所述基座部件上，且将经由与后端部连接的负压配管所供给的负压供应到所述吸嘴，所述上下驱动机构沿所述上下方向驱动所述吸嘴轴；

头部驱动单元，使所述头部组件在所述元件收容部的上方位置与所述元件搭载区域的上方位置之间移动；其中，

所述上下驱动机构是权利要求5至7中任一项所述的多轴线性电动机，

所述多轴线性电动机以所述移动方向与所述上下方向平行而且构成所述多轴线性电动机的所述多个单轴线性电动机与所述多个吸嘴轴为1对1对应的状态，安装于所述基座部件，

所述可动部按每一单轴线性电动机地与对应的所述吸嘴轴连接。