[发明专利]脉冲电子源、脉冲电子源的供电方法和控制脉冲电子源的方法有效
申请号: | 200980101926.7 | 申请日: | 2009-01-08 |
公开(公告)号: | CN101952926A | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 马克西姆·马卡罗夫 | 申请(专利权)人: | 埃克西可集团公司 |
主分类号: | H01J3/02 | 分类号: | H01J3/02;H01J33/00;H01S3/097 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 张文;黄启行 |
地址: | 比利时*** | 国省代码: | 比利时;BE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脉冲 电子 供电 方法 控制 | ||
1.一种脉冲电子源(1),包括:电离室(4);加速室(2),所述加速室(2)设置有用于吸引并加速一次离子和形成二次电子束的电极(3),其特征在于,所述脉冲电子源(1)包括电源(11),所述电源(11)配置为施加正电压到所述电极(3)以将一次等离子体(17)驱动出所述加速室(2),并且所述电源(11)配置为施加负电压脉冲到所述电极(3)以吸引并加速一次离子和形成二次电子束。
2.根据权利要求1所述的脉冲电子源,其中,所述电极(3)具有大体凸面柱体的形状并且设置有平整或凹状的中心部分(3a),所述中心部分(3a)与使电离室(4)和加速室(2)连通的槽缝(6)相对。
3.根据权利要求1或2所述的脉冲电子源,其中,所述电离室(4)和所述加速室(2)通过敞开的槽缝(6)连通。
4.根据前述权利要求任意之一所述的脉冲电子源,其中,所述电离室(4)和所述加速室(2)通过布置在所述电极(3)的中心部分(3a)和所述电离室(4)的出口(10)之间的槽缝(6)连通。
5.根据权利要求4所述的脉冲电子源,其中,所述出口(10)是敞开的。
6.根据权利要求4所述的脉冲电子源,其中,所述出口(10)设置有至少一个格栅。
7.根据权利要求4所述的脉冲电子源,其中,所述出口(10)通过片件(16)封闭,所述片件(16)包括用于使电子转换为X射线的金属层。
8.根据前述权利要求任意之一所述的脉冲电子源,其中,所述电源(11)包括脉冲变压器(18),该脉冲变压器(18)设置有:初级绕组(19),所述初级绕组(19)通过电容器(21)连接到直流电压源;开关(22),所述开关(22)布置在地和所述电容器的背向所述初级绕组的端子之间;连接到所述电极的次级绕组(20);以及辅助电压源(23),所述辅助电压源(23)布置在地和所述电极之间,以施加所述正电压到所述电极。
9.根据权利要求8所述的脉冲电子源,其中,所述电源包括与所述辅助电压源(23)串联的保护设备(24)。
10.根据权利要求8或9所述的脉冲电子源,其中,所述辅助电压源(23)与所述变压器的次级绕组串联安装。
11.根据权利要求10所述的脉冲电子源,其中,电容器与所述辅助电压源并联安装。
12.一种控制脉冲电子源(1)的方法,所述脉冲电子源(1)包括电离室(4)和加速室(2),所述加速室(2)设置有用于吸引并加速一次离子和形成二次电子束的电极(3),所述方法包括以下步骤:向所述电极(3)施加由电源(11)提供的正电压,以将一次等离子体驱动出所述加速室;以及向所述电极(3)施加由所述电源(11)提供的负电压脉冲,以吸引并加速所述一次离子和形成二次电子束。
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