[发明专利]向电子源供电的设备和方法以及离子轰击致二次发射电子源

权利要求书

1.一种用于低压室中的离子轰击致二次发射电子源的电源设备(14)，其包括控制输入端和两个高电压输出端，其特征在于所述电源设备包括：用于在一个高电压输出端产生多个正脉冲的装置；以及用于在所述正脉冲中的至少一些脉冲之后在另一个高压输出端产生负脉冲的装置。

2.根据权利要求1所述的电源设备，包括用于在所述用于产生多个正脉冲的装置的操作结束和所述用于产生负脉冲的装置的操作开始之间产生延迟的装置。

3.根据权利要求1或2所示的电源设备，其中，所述用于产生多个正脉冲的装置配置为使得第一脉冲处于比后续脉冲的电压更高的电压。

4.一种用于向低压室(3)中的离子轰击致二次发射电子源(1)供电的方法，其中，在一个高电压输出端产生多个正脉冲(18)，以及在所述正脉冲中的至少一些正脉冲之后在另一个高电压输出端产生负脉冲(19)。

5.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，不等于零的延迟使所述正脉冲的末尾与所述负脉冲的起点分离开。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，第一正脉冲的峰值电压大于后续正脉冲的峰值电压。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述后续正脉冲的峰值电压基本上相等。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，所述后续正脉冲的持续时间基本上恒定。

9.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，在老化的过程中增加至少一个脉冲的电压。

10.一种电子源(1)，包括：低压室(3)；加速室(2)；位于所述加速室中的阴极(10)；位于所述低压室中的阳极；以及根据权利要求1至3任意之一所述的电源设备(14)；其中，一个高电压输出端连接到所述阳极(12)，另一个高电压输出端连接到所述阴极(10)。

11.根据权利要求10所述的电子源，包括：供用于产生多个正脉冲的装置和用于产生负脉冲的装置使用的命令模块(17)。

12.根据权利要求10或11所述的电子源，其中，所述阳极(12)包括在两端供电的金属丝，所述低压室在所述金属丝的方向上延伸。